纳米区域分析的最高性能JEM-3200FS是一款为广泛的研究领域提供多种解决方案的电子显微镜，配备了最大加速电压为300kV的场发射电子枪（FEG）和柱内Ω型能量滤波器。
功能
柱内Ω型能量过滤器
通过将柱内Ω型能量滤波器作为成像镜头的一部分，可以轻松获得能量选择性图像和能量损失光谱，以及与传统电子显微镜相当的可变放大倍率范围。此外，Ω滤光片的光学系统旨在最大限度地减少成像失真，任何剩余的失真最终都会在工厂发货时得到校正。通过配置高灵敏度摄像系统和图像处理系统（可选），可以构建元素映射和能量损失光谱系统。
采用新的控制系统
我们通过将电子显微镜的基本功能（如电子枪、光学系统、测角仪和排气系统）转换为子系统，创建了高性能和高稳定性的控制系统。 Windows用于屏幕和用户界面，可以对操作进行编程并集中控制附件。
采用新的测角仪
新的子系统测角仪采用压电驱动机构，可显着改善高放大倍率下的样品移动。
规格/选项
| 版本※1 | 超高分辨率配置 (UHR) | 高分辨率配置（人力资源） | 样本高度倾斜配置（HT） | 高对比度配置 (HC) |
|---|---|---|---|---|
| 分辨率 | ||||
| 粒子图像格子图像 | 017nm01纳米 | 019nm01纳米 | 021nm01纳米 | 026nm014纳米 |
| 能量分辨率 | 09 eV（零损耗半宽度） | |||
| 加速电压 | 300kV、200kV、100kV※2 | |||
| 最小可变宽度能量转变 | 100V最大 3,000V（02V 步长） | |||
| 电子枪 | ||||
| 发射方式 | ZrO/W(100)肖特基法 | |||
| 亮度 | ≧7×108 A／厘米2·SR | |||
| 真空度 | 3×10-8帕 | |||
| 探头电流 | 1nm 探针为 05nA | |||
| 供电稳定性 | ||||
| 加速电压 | 2×10-6／分钟 | |||
| 物镜当前 | 1×10-6／分钟 | |||
| 滤镜镜头当前 | 1×10-6／分钟 | |||
| 物镜 | ||||
| 焦距 | 27 毫米 | 30毫米 | 35毫米 | 39 毫米 |
| 球差系数 | 06 毫米 | 11毫米 | 14 毫米 | 32 毫米 |
| 色差系数 | 15毫米 | 18 毫米 | 22毫米 | 30毫米 |
| 最小焦点可变量 | 10纳米 | 14纳米 | 15纳米 | 41纳米 |
| 现货尺寸 | ||||
| TEM 模式 | 2～5 nmφ | 2～5 nmφ | 7～30 nmφ | |
| EDS 模式 | 04～16 nmφ | 05～24 nmφ | 4～20 nmφ | |
| NBD 模式 | 04～16 nmφ | 05～24 nmφ | - | |
| CBD模式 | 04～16 nmφ | 05～24 nmφ | - | |
| 会聚电子衍射 | ||||
| 会聚角(2α) | 15～20毫拉德 | - | ||
| 进气角度 | ±10 ° | - | ||
| 放大倍数 | ||||
| MAG 模式 | ×2,500～1,500,000 | ×2,000～1,200,000 | ×1,500～1,200,000 | |
| 低磁力模式 | ×100～3,000 | |||
| SA MAG 模式 | ×8,000～600,000 | ×6,000～500,000 | ×5,000～500,000 | |
| 有效视野大小 | 选择10eV时薄膜表面直径为60mm选择2eV时薄膜表面直径为25mm | |||
| 摄像头 | ||||
| 选区衍射 | 200～2,000毫米 | 250～2,500毫米 | 400～3,000毫米 | |
| EELS 分布 | ||||
| 能量选择 | 300 kV 时为 085 μm/eV | |||
| 在狭缝上 | ||||
| 薄膜表面 | 300kV时100～220μm/eV | |||
| 样板间 | ||||
| 样本移动量(XY/Z) | 2毫米／02毫米 | 2毫米／04毫米 | 2毫米／04毫米 | 2毫米／04毫米 |
| 示例倾斜角度 (X/Y) | ±25°／±25°※3 | ±35°／±30°※3 | ±42°／±30°※3 | ±38°／±30°※3 |
| EDS※4 | ||||
| 立体角 | 013 sr | 009 sr | ||
| 外卖角度 | 25° | 20° | ||
订购型号时请选择其中一种配置。
使用加速管短路机构（可选）可达到 100,200kV。
使用样本 2 轴倾斜支架 (EM-31630) 时。
需要 EDS 系统（可选）。规格为30mm2这是使用检测器时的值。
申请
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