JEM-2100F配备场发射电子枪(FEG),可产生高亮度、高相干、高稳定的电子束,可以轻松观察和分析纳米级超高分辨率图像。此外,通过使用PC的网络功能,可以与各种分析设备和成像设备连接。
功能
集成 TEM 对于高分辨率观察和纳米域分析至关重要
配备高亮度、高稳定性场发射电子枪。高倍率下的结构分析和纳米域分析很容易。
探针直径可以从μm量级到最小直径05 nm。纳米级分析点的最终分析很容易。
新型侧入式测角仪
可以轻松改变样品的倾斜、旋转、加热和冷却等物理条件,从而使纳米级分析成为可能。
智能化
此设计将图像观察室窥器与 PC 控制环境相结合。
规格/选项
| 版本 | 超高分辨率 | 高分辨率 | 样品高度倾斜 | 样品冷却 | 高对比度 |
|---|---|---|---|---|---|
| 极片 | URP | 辣根过氧化物酶 | HTP | CRP | HCP |
| 分辨率 | |||||
| 粒子图像 | 019纳米 | 023纳米 | 025纳米 | 027纳米 | 031纳米 |
| 格子图像 | 01纳米 | 01纳米 | 01纳米 | 014纳米 | 014纳米 |
| 加速电压 | 160kV、200kV※1 | ||||
| 最小可变宽度 | 50V | ||||
| 电子枪 | |||||
| 发射方式 | ZrO/W(100) | ||||
| 亮度 | ≧4×108安/厘米2/sr | ||||
| 真空度 | ×10-8霸令 | ||||
| 探头电流 | 05 nA以上(探头直径1 nm) | ||||
| 电源稳定性 | |||||
| 高压电源 | ≦1×10-6/分钟 | ||||
| 物镜 | ≦1×10-6/分钟 | ||||
| 物镜 | |||||
| 焦距 | 19 毫米 | 23毫米 | 27 毫米 | 28 毫米 | 39 毫米 |
| 球差系数 | 05毫米 | 10 毫米 | 14毫米 | 20毫米 | 33毫米 |
| 色差系数 | 11毫米 | 14毫米 | 18 毫米 | 21毫米 | 30毫米 |
| 最小焦点可变量 | 10纳米 | 14纳米 | 18纳米 | 20纳米 | 52纳米 |
| 现货尺寸 | |||||
| TEM 模式 | 2~5纳米 | 7~30纳米 | |||
| EDS 模式 | 05~24纳米 | - | - | 4~20纳米 | |
| NBD 模式 | - | - | - | ||
| CBD模式 | 10~24纳米 | - | |||
| 会聚电子衍射 | |||||
| 会聚角 | 15~20毫拉德 | - | - | ||
| 进入角度 | ±10° | - | - | ||
| 放大倍数 | |||||
| MAG | ×2,000~1,500,000 | ×1,500~1,200,000 | ×1,200~1,000,000 | ×1,000~800,000 | |
| 低磁力 | ×50~6,000 | ×50~2,000 | |||
| SA MAG | ×8,000~800,000 | ×6,000~600,000 | ×5,000~600,000 | ×5,000~400,000 | |
| 摄像头 | |||||
| 选区衍射 | 80~2,000毫米 | 100~2,500毫米 | 150~3,000毫米 | ||
| 高色散衍射 | 4~80mm | ||||
| 高分辨率衍射※2 | 333 毫米 | ||||
| 机芯示例 | |||||
| X,Y | 2毫米 | 2毫米 | 2毫米 | 2毫米 | 2毫米 |
| Z | ±01毫米 | ±02毫米 | ±02毫米 | ||
| 倾斜角度 | |||||
| X/Y※3 | ±25/±25° | ±35/±30° | ±42/±30° | ±15/±10° | ±38/±30° |
| X※4 | ±25° | ±80° | ±80° | ±80° | ±80° |
| 科学、技术、工程和数学※5 | |||||
| 明场网格图像 | 02纳米 | - | - | ||
| 分辨率 | - | - | |||
| EDS(Si(Li)型检测器)※6 | |||||
| 立体角(30mm2) | 013 SR | 013 SR | 013 SR | ※8 | 009 sr |
| 立体角(50mm2)※7 | 024 SR | 028 SR | 023 SR | ||
| 取出角度(30mm2) | 25° | 25° | 25° | ※8 | 20° |
| 取出角度(50mm2)※7 | 22.3° | 24.1° | 25° | ||
使用80、100、120 kV时,使用加速管短接装置(可选)
使用高分辨率衍射室(可选)时
使用双轴倾斜支架时
使用高坡度保持器时
扫描图像观察装置可选
EDS 是可选的
日本电子 EDS 50mm2使用检测器时
无法安装 EDS
申请
与 JEM-2100F 相关的应用
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成功定位锂离子:世界上首次通过金属离子观察、电子显微镜进行定位
图库
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样品:氮化硼上的碳纳米管样品提供:日本国立材料科学研究所 Yoshio Bando 博士
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示例:DRAM
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