VC-300S型/300W型是电子显微镜样品用碳蒸发装置。使用 TEM、SEM 或 EPMA（电子探针显微分析仪），在待观察或分析的样品（例如绝缘体）的表面上形成导电薄膜。它还可用于加固截面和支撑膜。 300W 型用于创建特别厚的碳膜，例如 XMA 和 FIB 样品的保护膜。
功能
碳沉积是使用旋转泵进行的，并使用皮拉尼真空计监测真空水平。通过始终蒸发一定量的碳，可以实现高度可再现的碳沉积。
请使用专用补充装SLC-30作为碳源。
有一对300S电极和两对300W电极。 300W 使您可以通过开关将涂层厚度增加一倍。
规格/选项
规格
| 电源 | AC100V（单相100V 15A）带地线使用三脚插头 |
|---|---|
| 设备尺寸 | (宽)255毫米×(深)375毫米×(高)430毫米 |
| 设备重量 | 18公斤 |
| 旋转泵 | 50升/分钟RP单真空度1Pa泵重量146kg落地式包括 1m SUS 软管 |
| 样品室尺寸 | 内径120mm x 高140mm硬质玻璃制成 |
| 样品台尺寸 | 直径100毫米可相对蒸发源上下移动30mm |
| 气相沉积源-样品台距离 | 45mm至75mm范围内可调 |
| 蒸发功率 | 2 级 OUTGAS 和 EVAPO，预设为最佳电压 |
| 终极真空 | 15Pa以下 |
| 真空监控 | 皮拉尼真空计 |
