VC-100S型/100W型是用于电子显微镜样品的碳蒸发装置。使用 TEM、SEM 或 EPMA 在待观察或分析的样品（例如绝缘体）表面上形成导电薄膜。它还可用于加固截面和支撑膜。 100W 型用于制作特别厚的碳膜，例如 XMA 和 FIB 样品的保护膜。
功能
碳沉积是使用旋转泵进行的，并使用皮拉尼真空计监测真空水平。通过始终蒸发一定量的碳，可以实现高度可再现的碳沉积。
请使用专用补充装SLC-30作为碳源。
有一对100S电极和两对100W电极。 100W 使您可以通过开关将涂层厚度增加一倍。
内置旋转泵（RP）的一体型。请将其安装在坚固的工作台上，以免与RP的振动产生共振。无需水冷。
规格/选项
规格
| 电源 | AC100V（单相100V 15A）带地线，使用三脚插头 |
|---|---|
| 设备尺寸 | (宽)300毫米×(深)370毫米×(高)435毫米 |
| 设备重量 | 29kg（内置旋转泵） |
| 样品室尺寸 | 内径120mm x 高140mm 硬质玻璃制成 |
| 样品台尺寸 | 直径100mm｜可相对蒸发源升降30mm |
| 气相沉积源-样品台距离 | 45mm至75mm范围内可调 |
| 蒸发功率 | 3级BAKE、OUTGAS、EVAPO，预设最佳电压 |
| 终极真空 | 2Pa（15×10-2托）及以下 |
| 真空监控 | 01Pa (75 × 10-4指示托尔 |
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