[已售完] JSM-7600F肖特基场发射扫描天游ty8线路检测中心显微镜|产品信息|天游线路检测中心株式会社| 天游线路检测中心株式会社产品信息|日本日本株式会社

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采用半透镜法的高分辨率 SEM。辐照系统采用高功率光学器件，可以进行高分辨率、高速、高精度的元素分析。此外，通过组合柔和的光束，可以以数百eV的极低能量观察样品的最外表面。

功能

使用半入式镜头进行高分辨率观察和分析

通过将即使在低加速电压下也能缩小天游ty8线路检测中心束的半透镜物镜与寿命长且提供稳定电流的透镜内肖特基场致发射天游ty8线路检测中心枪相结合，可以实现高分辨率观察和高空间分辨率分析。

ジェntorubimu(GB)による极低エネルギー危机天游ty8线路检测中心による最表面観察

通过向样品施加偏置电压并用天游ty8线路检测中心束照射它，您可以使用比普通模式具有更高分辨率的温和光束（GB 模式）。这使得可以使用数百eV的入射天游ty8线路检测中心来观察样品的最外表面，这在以前很难以高分辨率观察。

使用高功率光学器件进行高速、高精度分析

光学系统采用高功率光学器件。不仅可以进行高分辨率观察，还可以进行稳定、高速、高精度的元素分析。

应用示例

应用1 使用半入式镜头进行高分辨率观察

样品：Pt 催化剂
加速电压：15kV

试料：カーボンナノチューブのSTEM像
加速电压：30kV

応示例2セミインrenzuによる高空间架构能力分析

LED截面（100nm以下多层结构的EDS分析）

应用示例3 使用柔和光束的顶面观察

过滤器
GB 使用样本达到能量：05keV

介孔二氧化硅
GB 使用样本达到能量：08keV

规格/选项

二次天游ty8线路检测中心图像分辨率	10nm (15kV), 15nm (1kV)
放大倍数	×25～×1,000,000 （图像尺寸120mm x 90mm）
加速电圧	01kV～30kV
Probe current	1pA～200nA
照射电流示例	1pA～2nA
自动光圈角优化镜头	嵌入式
探测器	上方検出器向下探测器
能量过滤器	新的 r 滤波器
柔和的光束	内置
数字图像	1,280×960画素、2,560×1,920画素 5,120×3,840 像素
样品交换室	内置一键兑换功能
Sample stage	Eucentric, 5-axis motor drive
类型	IA	二	三
X-Y	70毫米×50毫米	110mm×80mm	140mm×80mm
坡度	－5°～＋70°	－5°～＋70°	－5°～＋70°
旋转	360°	360°	360°
作动距离	15mm～25mm	15mm～25mm	15mm～25mm
排气系统	2 SIP、磁悬浮 TMP、RP
节能设计	标准运行：12kVA 睡眠模式：1kVA 操作系统关闭时：076kVA

二氧化碳当量功耗

	CO per hour2排放	年二氧化碳2排放
定时蜘蛛动时	0481公斤	4,214公斤
处于睡眠模式	0411公斤	-
排气系统关闭时（离子泵开启）	0286公斤	-

主要选项

可伸缩背散射天游ty8线路检测中心探测器（RBEI）*1
小角度背散射天游ty8线路检测中心探测器(LABE)*2
波长色散 X 射线光谱仪 (WDS)
能量色散X射线光谱仪（EDS）
晶体取向分析仪 (EBSD)
透射天游ty8线路检测中心探测器（STEM）
Cathodoluminescence (CLD)
液氮捕集器 (LNT)