采用半透镜法的高分辨率 SEM。辐照系统采用高功率光学器件，可以进行高分辨率、高速、高精度的元素分析。此外，通过组合柔和的光束，可以以数百eV的极低能量观察样品的最外表面。
功能
使用半入式镜头进行高分辨率观察和分析
通过将即使在低加速电压下也能缩小电子束的半透镜物镜与寿命长且提供稳定电流的透镜内肖特基场致发射电子枪相结合，可以实现高分辨率观察和高空间分辨率分析。
使用柔和光束使用极低能量入射电子进行顶面观察 (GB)
通过向样品施加偏置电压并用电子束照射它，您可以使用比普通模式具有更高分辨率的温和光束（GB 模式）。这使得可以使用数百eV的入射电子来观察样品的最外表面，这在以前很难以高分辨率观察。
使用高功率光学器件进行高速、高精度分析
光学系统采用高功率光学器件。不仅可以进行高分辨率观察，还可以进行稳定、高速、高精度的元素分析。
应用示例
应用 1 使用半入式镜头进行高分辨率观察
样品：Pt催化剂加速电压：15kV
示例：碳纳米管的 STEM 图像加速电压：30kV
应用示例 2 使用半透镜进行高空间分辨率分析
LED截面（100nm以下多层结构的EDS分析）
应用示例3 使用柔和光束的顶面观察
过滤器GB 使用样本达到能量：05keV
介孔二氧化硅GB使用样本达到能量：08keV
规格/选项
| 二次电子图像分辨率 | 10nm (15kV), 15nm (1kV) | ||
|---|---|---|---|
| 放大倍数 | ×25～×1,000,000（图像尺寸120mm x 90mm） | ||
| 加速电压 | 01kV～30kV | ||
| 探头电流 | 1pA～200nA | ||
| 照射电流示例 | 1pA～2nA | ||
| 自动光圈角优化镜头 | 嵌入式 | ||
| 探测器 | 上部探测器向下探测器 | ||
| 能量过滤器 | 新的 r 滤波器 | ||
| 柔和的光束 | 内置 | ||
| 数字图像 | 1,280×960像素、2,560×1,920像素5,120×3,840像素 | ||
| 样品交换室 | 内置一键兑换功能 | ||
| 样品台 | 同心、5 轴电机驱动 | ||
| 类型 | IA | 二 | 三 |
| X-Y | 70毫米×50毫米 | 110mm×80mm | 140mm×80mm |
| 坡度 | －5°～＋70° | －5°～＋70° | －5°～＋70° |
| 旋转 | 360° | 360° | 360° |
| 工作距离 | 15mm～25mm | 15mm～25mm | 15mm～25mm |
| 排气系统 | 2 SIP、磁悬浮 TMP、RP | ||
| 节能设计 | 标准运行：12kVA睡眠模式：1kVA操作系统关闭时：076kVA | ||
二氧化碳当量功耗
| 每小时二氧化碳2排放 | 年二氧化碳2排放 | |
|---|---|---|
| 正常运行期间 | 0481公斤 | 4,214公斤 |
| 处于睡眠模式 | 0411公斤 | - |
| 排气系统关闭时（离子泵开启） | 0286公斤 | - |
主要选项
可伸缩背散射电子探测器（RBEI）*1
小角度背散射电子探测器(LABE)*2
波长色散 X 射线光谱仪 (WDS)
能量色散X射线光谱仪(EDS)
晶体取向分析仪 (EBSD)
透射电子探测器（STEM）
阴极发光 (CLD)
液氮捕集器 (LNT)
：用于 EDS 分析
：用于高倍图像观察
申请
与 JSM-7600F 相关的应用
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