高性能通用扫描电子显微镜，在150mm通用样品室中配备与JSM-6460相同的高精度电子光学系统。它的开发考虑了许多用户的使用环境，并配备了易于理解和舒适操作的软件。
规格/选项
| 分辨率 | 30纳米 |
|---|---|
| 加速电压 | 05至30kV（53步切换） |
| 放大倍数 | ×5～300,000 |
| 尺寸示例 | 150mmφ（最大） |
| 机芯示例 | X方向：80mm Y方向：40mmZ方向：5~48mm，倾斜：-10°~90°旋转：360° |
申请
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