[已售完] JSM-6010PLUS/LA InTouchScope™ 多点触控面板扫描电子显微镜 |产品信息|日本电子株式会社| 日本电子株式会社产品信息|日本日本株式会社

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这是一款多功能通用SEM，采用新型操作屏和触摸屏，可实现直观操作。 EDS 元素分析完全集成。标准配置还包括低真空模式，无需预处理即可轻松观察绝缘体。

功能

易于使用

触摸屏可实现直观操作

各种导航

样品交换导航可让您通过按正确顺序按下按钮来顺利交换样品。
如果安装电机驱动载物台（可选）和载物台导航系统（可选），您可以像使用光学显微镜一样搜索视野。
配备 EDS 指南，便于分析（仅限洛杉矶）。

LV 标准

非导电样品无需预处理也可观察和分析。

EDS 完整集成

一键即可在 SEM/EDS 之间切换。
您可以在与 SEM 相同的窗口中操作 EDS。

应用示例

您可以使用标准配方并根据示例设置条件。标准配备低真空模式，即使是未经处理的样品也可以使用标准配方设置进行观察。
这是使用标准配方拍摄的图像示例。

样本：飞行二次电子图像
加速电压：10kV
放大倍数：×200

样品：树脂断裂面，背散射电子 3D 图像
加速电压：10kV
放大倍数：×1500
低真空模式：50Pa

样品：金属粒子二次电子图像
加速电压：20kV
照片放大倍数：×300

示例：基底背散射电子 3D 图像
加速电压：15kV
照片放大倍数：×25

规格/选项

分辨率	高真空模式：3 nm(30 kV 1) 4 nm(20 kV)、8 nm(3 kV) 15 nm(1 kV) 低真空模式：4 nm(30 kV 1) 5 nm(20kV)
放大倍数	× 5 ~× 300,000（图像尺寸128毫米×96毫米）
图像模式	二次电子图像、REF图像、合成图像、不均匀图像、3D图像
真空压力低	10～100Pa
加速电压	05 kV ~ 30 kV *1（53级） 05 kV ~ 20 kV（43级）
长丝	预定心发夹型钨钢
电子枪	全自动，手动可调
聚光镜头	二级电磁变焦聚光镜方式
物镜	超圆锥迷你镜头
物镜孔径	1级，带XY微调
散光记忆	是
图像移位	± 50 μm（工作距离10毫米）
预设放大倍率	5 个阶段，用户可配置
样品台	Eucentric 阶段 X：80 毫米 Y：40 毫米 Z：5 毫米 ~ 48 毫米倾斜：-10°~ + 90°，旋转：360°
最大样本量	直径150毫米
样品交换	拉出舞台
图像内存	5,120 × 3,840 × 16 位 1 块
像素数	640 × 480、1,280 × 960、 2,560 × 1,920、 5,120 × 3,840
图像处理函数	数字变焦、平均、双实时、分割实时、灵活窗口、信号叠加功能伪彩、双倍放大
长度测量功能	2点长度测量、圆测量、线宽测量、角度测量、面积测量、计数
比较屏幕	1个屏幕+SNS屏幕（可选*2）
文件格式	BMP、TIFF、JPEG
图片自动保存	是
EDS功能*3	光谱采集/点分析、定性/定量分析、元素映射、探针跟踪
计算机	台式触摸屏电脑
操作系统	Windows 7
监视器	23型触摸屏
网络	以太网无线局域网（可选）
标准配方	是
自定义食谱	观察条件、样品台、真空模式
自动功能	灯丝调整、对准调整、对焦、散光、曝光调整
排气系统	全自动，TMP：1单位，RP：1单位