这是JST-F系列电源专用的扫描波形发生单元。改善蒸发材料的熔化痕迹将导致改善膜厚度分布的再现性。 BS-64010SCT 扫描控制器可以生成各种定制的扫描模式，以调整沉积材料的熔化轨迹。
功能
使用专用软件调整波形
您可以使用附带的软件轻松调整扫描波形。 （需要一台装有 Windows 10 的单独计算机。）
您可以直观地调整光束点的停留时间。
可以进行多种设置，包括扫描形式、峰值、位置、扫描频率和倾斜角度。
有四种模式：XY模式、圆形模式（圆周或螺旋）、任意位置模式和直线模式。
使用扫描控制器改善熔化痕迹
这是调整环炉底燃烧标记的示例。
在左侧未调整的扫描波形中，熔融石英环的内周和外周被深挖。
右侧扫描控制器优化的波形显示，没有大的挖掘区域，并且获得了平坦的烧痕。
可以从软件屏幕进行各种设置。
1。扫描表格
您可以更改正面和背面之间的 Y 扫描宽度。这将是梯形扫描。
示波器波形
2。倾斜
如果您以弧形扫描，则可以水平校正。
3。 X 轴峰值
通过在 X 方向的两端应用峰化，可以减少两端的光束停留时间并使熔体痕迹变平。
示波器波形
4。任意位置模式
将光束照射到任意多个点。还可以设置每个点的 XY 扫描。
也可用于多个同时沉积。
5。圆圈模式
此模式以圆形或螺旋图案扫描。
我们建议在气相沉积之前使用扫描控制器的循环模式进行熔化。
对于使用圆形扫描进行成膜，我们建议使用更复杂的圆形扫描，它标配 BS-720xxICE 电源。
内存
一个BS-64010SCT扫描控制器可以为两支电子枪生成波形。
一支电子枪可以存储针对每种材料优化的 15 种扫描模式。
当使用两支电子枪时，总共可以记忆30个图案。
将数据存储到扫描控制器的内置存储器后，您可以断开计算机的连接。
您还可以将设置保存在电脑上。
规格/选项
| 波形生成模式 | 4 种 |
|---|---|
| 频道数量 | 2ch |
| 扫描条件下的 SC 存储器数量 | 每个通道 15 个 |
| PC 接口 | 以太网（连接器：RJ45 母头）100BASE-TX |
| PC通信兼容电缆(*1) | 以太网电缆（5 类或更高类别） |
| 软件兼容的电脑 (*1) | 显示分辨率 1,024 × 768 或更高 |
| 软件兼容操作系统 | Windows® 10 |
| 外部尺寸 | 481毫米（宽）×149毫米（高）×360毫米（深） |
| 输入功率 | 交流 100 至 240V (*2)50/60Hz70 VA（不含谐波分量） |
| 接地端子 | A 类（10 Ω 或更小）(*3) |
PC 和 PC 通信电缆不包含在本产品中。需要单独安排。PC：个人计算机的缩写。
随附的电源线适用于 AC 100 至 125 V。使用 AC 200 至 240 V 时，必须单独购买和更换兼容的电源线。
与 JST-F 电源接地端子共用。
