这是JST-F系列电源专用的扫描波形发生单元。改善蒸发材料的熔化痕迹将导致改善膜厚度分布的再现性。 ty8天游线路检测中心64010SCT 扫描控制器可以生成各种定制的扫描模式,以调整沉积材料的熔化轨迹。
特长
使用专用软件调整波形
使用附带的软件可以轻松调整ty8天游线路检测中心波形。 (需要一台装有 Windows 10 的单独计算机。)
您可以直观地调整光束点的停留时间。
可以进行多种设置,包括ty8天游线路检测中心形式、峰值、位置、ty8天游线路检测中心频率和倾斜角度。
有四种模式:XY模式、圆形模式(圆周或螺旋)、任意位置模式和直线模式。
使用ty8天游线路检测中心控制器改善熔化痕迹
这是调整环炉底烧痕的示例。
在左侧未调整的ty8天游线路检测中心波形中,熔融石英环的内周和外周被深挖。
右侧ty8天游线路检测中心控制器优化后的波形显示,没有大的挖掘区域,并且获得了平坦的烧痕。
可以从软件屏幕进行各种设置。
1。ty8天游线路检测中心表格
您可以更改正面和背面之间的 Y ty8天游线路检测中心宽度。这将是梯形ty8天游线路检测中心。
示波器波形
2。倾斜
如果您以弧形ty8天游线路检测中心,则可以水平校正。
3。 X 轴峰值
通过在 X 方向的两端应用峰化,可以减少两端的光束停留时间并使熔体痕迹变平。
示波器波形
4。任意位置模式
复数の各自のポイントにビームを照射します。也可以设置各点的XYty8天游线路检测中心。
也可用于多个同时沉积。
5。圆圈模式
此模式以圆形或螺旋图案ty8天游线路检测中心。
我们建议在气相沉积之前使用ty8天游线路检测中心控制器的循环模式进行熔化。
对于使用圆形扫描进行成膜,我们建议使用更复杂的圆形扫描,它标配 ty8天游线路检测中心720xxICE 电源。
内存
一个ty8天游线路检测中心64010SCT扫描控制器可以为两个电子枪生成波形。
一支电子枪可以存储针对每种材料优化的 15 种ty8天游线路检测中心模式。
使用两支电子枪时,总共可以记忆30个图案。
将其存储到ty8天游线路检测中心控制器的内置存储器中后,您可以断开计算机的连接。
您还可以将设置保存在电脑上。
规格/选项
| 波形生成模式 | 4 种 |
|---|---|
| 频道数量 | 2ch |
| ty8天游线路检测中心条件下的 SC 存储器数量 | 每个通道 15 个 |
| PC 接口 | 以太网(连接器:RJ45 母头)100BASE-TX |
| PC通信兼容电缆(*1) | Ethernet cable (category 5 or higher) |
| 软件兼容的电脑 (*1) | 显示分辨率 1,024 × 768 或更高 |
| 软件兼容操作系统 | Windows® 10 |
| 外部尺寸 | 481毫米(宽)×149毫米(高)×360毫米(深) |
| 输入功率 | 交流 100 至 240V (*2)50/60Hz70 VA(不含谐波分量) |
| 接地端子 | A 类(10 Ω 或更小)(*3) |
PC 和 PC 通信电缆不包含在本产品中。需要单独安排。PC:个人计算机的缩写。
随附的电源线适用于 AC 100 至 125 V。使用 AC 200 至 240 V 时,必须单独购买和更换兼容的电源线。
与JST-F电源的接地端子共用。
