天游ty8线路检测中心 焦深

焦深、焦深、景深

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当聚焦于样本上的某个点时，正确图像平面前后存在一个范围，在该范围内可以获得模糊程度足够小的图像。这个范围称为焦深。入射探头的张角越小，焦深越深，观察倍率越高，焦深越浅。 SEM 中入射探针的孔径角比光学显微镜中的入射探针孔径角小约 100 倍。因此，SEM的焦深大约是光学显微镜的100倍。图1示意性地示出了当物镜孔径直径变化时焦深如何变化。图 2 显示了根据物镜孔径直径（入射探头孔径角的差异）不同焦深的 SEM 图像示例。

焦深差异取决于物镜孔径直径的大小⇒图1

不同孔径大小的焦深比较⇒图 2
(样品：灯泡灯丝，加速电压10kV)
左：孔径100μm，右：孔径200μm

焦深 (DOF) 或焦深是样本（物体）在图像平面上以可接受的清晰度成像的距离范围。入射探头的开口角越小，DOF 越大，但图像的放大倍数越高，DOF 越小。
SEM的入射电子探针的张角比光学显微镜小约100倍。因此，SEM 的 DOF 大约比光学显微镜大 100 倍。图1示意性地示出了物镜孔径直径改变时DOF的变化。图 2 显示了在由不同物镜孔径尺寸确定的不同自由度处拍摄的 SEM 图像的比较。

图1 景深的差异取决于物镜孔径的直径。

图2 在由物镜孔径尺寸100确定的两个不同自由度处拍摄的两张SEM图像的比较μ米直径（左）和200μ米直径（右）。
样本：灯泡灯丝。加速电压：10 kV。

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