几何像差|词汇表|日本日本株式会社

几何像差

在几何光学中，电子的轨迹被描述为带电粒子在电磁场中的运动，成像点与理想成像点（高斯成像）的偏差称为几何像差。光学特性通常用从物表面上的点映射到像表面上的点的幂展开多项式来表示。该多项式展开为 1) 距物平面中电子轨道光轴的距离 r，以及 2) 与光轴形成的角度 α 的幂。对于r和α，如果仅考虑一阶项，则代表无像差的理想成像（高斯成像）。当考虑二次或更高阶项时，成像点偏离理想成像点。
与光轴的夹角α和距光轴的距离r的阶数之和就是几何像差的阶数。当表示像差阶数时，通常使用几何像差阶数。另一方面，由于波前像差的阶数与像差的对称性密切相关，因此有时将波前像差的阶数用作像差的阶数。对于相同像差，波前像差阶数为几何像差阶数加1。例如，二重像散是一阶几何像差，二阶波前像差，三阶像散是二阶几何像差和三阶波前像差。

在几何光学中，电子轨迹被描述为带电粒子在电磁场中的运动，电子的真实成像点与无像差的理想成像点的偏差称为“几何像差”。光学特性由 r（电子束距光轴的距离）和 α（电子束与光轴之间的角度）的幂级数多项式表示，其中从物平面上的一点发射的光束映射到像平面上的一点。如果仅取表达式的一阶项，则多项式表示无像差的理想成像（高斯成像）。如果考虑二阶以上的高阶项，则会出现真实成像点与理想成像点的偏差。
几何像差的阶数由α（电子束与光轴之间的角度）阶数和r（电子束距光轴的距离）阶数之和决定。它方便地用于描述像差的阶数。另一方面，波像差是有用的，因为波像差的阶数与像差的对称性密切相关。像差通过在几何像差阶数上加1（一）来表示。例如，二重像散在几何像差方面是一阶像差，但在波像差方面是二阶像差，而三重像散在几何像差方面是二阶像差，但在波像差方面是三阶像差。