天游线路检测中心 用光学显微镜观察纤维的SEM/EDS分析（石棉CLEM法）

石棉计数通常使用光学显微镜进行，可以在短时间内观察大范围的区域。但是，当使用光学显微镜时，如果您想知道“这真的是石棉吗？”计数过程中，没有办法查证。在此，我们将介绍一个示例，其中使用石棉 CLEM 方法通过 SEM 轻松分析在光学显微镜观察时出现问题的纤维。

铁石棉分析示例

我们标记了用光学显微镜（LM，相差显微镜）观察到的纤维（图 3）（图 1），并用 SEM 观察了相同的纤维（图 2、4）。经EDS分析鉴定为铁石棉。

图1 LM相差图像

图2 SEM二次电子像

图3 LM相差图像放大

图4 SEM二次电子图像放大

温石棉中混合的纤维物质的分析示例

在观察收集温石棉的过滤器时，我们发现纤维似乎不是温石棉（图 5）。使用石棉 CLEM 方法，使用 SEM/EDS 观察和分析相同的纤维，结果，看起来像是温石棉的纤维被鉴定为温石棉（图 7），而看起来不是温石棉的纤维被鉴定为铁石棉（图 8）。
即使像这样的样品中混合有不同的纤维，也可以通过使用石棉 CLEM 方法来识别纤维。

图5光学显微镜相差图像

图6 SEM二次电子像

图7 ① 被认为是温石棉的纤维的分析结果

图8 ② 不被认为是温石棉的纤维的分析结果

样品：过滤器收集的石棉
成像设备：Nikon Ci、JEOL JSM-IT200

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