天游线路检测中心 使用低真空 SEM 分析自来水过滤器上的异物

自来水过滤滤芯上异物的观察

使用光学显微镜和低真空SEM观察用于过滤自来水的过滤器。用光学显微镜观察，观察到①黄色异物、②颗粒物。通过使用SEM的背向散射电子图像观察同一点，根据对比度判定黄色异物(1)是含有平均原子序数高的元素的物质。另外，发现(2)颗粒物是平均原子序数较小的物质。

图1光学显微镜图像

图2 背散射电子图像

加速电压15kV 摄影倍率x350 真空度40Pa

自来水过滤滤芯上异物的EDS分析

对①黄色异物和②颗粒物进行了元素分析。分析区域是每个矩形的范围。 ① 除C、O以外，作为黄色异物还检测出Si、P、Ca、Fe。特别是，由于检测出大量的Fe，因此有可能是来自配管的异物。 ②颗粒物中除C、O外，还含有N、Al、Si、S、Ca、Fe等多种元素。
请注意，两者中检测到的 C 和 O 可能包含在异物中，也可能在过滤器本身中检测到。

图3①黄色异物分析结果

图4 ② 颗粒异物分析结果

异物的 EDS 元素图

图 5 显示了过滤自来水的过滤器的观察视野的 EDS 元素图结果。

① 发现黄色异物Si和Fe分布在整个异物中。 ②颗粒物中检测到的Si和Ca（用○标记）存在于部分颗粒物中，而不是全部颗粒物中。特别是，发现Si在粒子状物质以外的区域中以微粒子的形式存在。

这样，通过元素映射查看分布，您可以清楚地看到该元素是存在于整个对象中还是部分对象中。

图5 背散射电子图像和EDS元素图

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