天游线路检测中心 用于平面和横截面观察的 TEM 样品制备
IB2019-07
使用正常的样品制备方法，只能从一个方向（例如横截面）进行 TEM 观察。然而，如果不清楚观察部位在样品上的哪个位置，则将样品制备成可以从两个不同的方向观察是有效的。通过使用FIB/TEM用3D样品支架，可以准备用于平面观察的样品，通过TEM观察确定观察区域，然后准备用于截面观察的样品。
三维样品架※选项
这是一个 TEM 样品支架，具有允许支架尖端的销形样品台旋转 360° 的机构。您可以从多个方向进行 TEM 观察。 JIB-4000PLUS 允许插入带有可选侧入测角仪台的样品架。
60°旋转样品台
供 FIB/TEM 使用的 3D 样品架
DRAM 存储器的 TEM 样品制备
我们准备了用于 DRAM 存储器平面观察的样品，并进行 TEM 观察以识别观察区域。将通过FIB切出的块状样品固定在三维TEM样品支架顶端的销形样品台上，并在允许用TEM进行平面观察的方向上制备厚度约为1μm的薄膜样品。平面观察样品的TEM观察后，将样品保持器返回至FIB并制备薄膜样品，以便可以在指定的观察部位进行截面观察。
在样品台尖端准备用于平面观察的 TEM 样品
在样品台尖端准备用于平面观察的 TEM 样品
用于检查区域横截面观察的TEM样品
观察区域的截面观察图像（STEM BF图像）
