广域SEM/EBSD方法的建立|应用说明|日本日本株式会社

山本康明1)、柴田正辉1)、川内和明1)、小仓一通1)、新船浩司2)
1) 天游线路检测中心 SM 事业部、2) 兵库大学

SEM/EBSD 方法作为分析材料晶体取向的重要工具应用于各个领域。然而，SEM/EBSD的测量范围通常在约100倍至数万倍时有效，并且由于图像畸变的影响较大，因此难以在100倍以下的低放大倍率下进行测量。因此，对于太阳能电池用多晶硅等由100μm以上的大晶粒构成的样品，将数百倍倍率的SEM/EBSD法的结果连接起来，以覆盖较宽的区域。
这次，我们开发了JSM-7001F/TTL（通过镜头），它配备了低倍率且受扫描畸变影响较小的光学系统。使用该设备，我们对大晶粒尺寸的样品进行了超低倍率EBSD测量，结果显示在结果中。