JEM-2800 高通量电子显微镜的开发 |应用说明|日本日本株式会社

JEOLnews 第 46 卷，第 1 期，2011 年松下光秀†、河合修二†、岩间刚†、田中克宏†、
久场俊子†† 和远藤则明†

† JEOL 有限公司 EM 业务部
†† JEOL 电子光学销售部

近年来，利用纳米级结构控制技术的新材料开发以及使用这些新开发材料的产品开发正在积极进行。在开发这些材料和产品的过程中，使用扫描透射和/或透射电子显微镜（(S)TEM）对局部区域进行形态和观察分析的方法变得必不可少。在生产线附近的现场作为提高生产良率和分析缺陷原因的分析工具，用户在白天和晚上的任何时间都可以充分利用(S)TEM。然而，从成本和可用性的角度来看，在这样的场所安装(S)TEM常常会引起问题。为了解决这些问题，新开发了JEM-2800高通量电子显微镜。本报告描述了该仪器的产品概念和功能。