JEM-2800高通量电子显微镜的开发|应用说明|日本日本株式会社

JEOL 新闻，2011 年第 43 期松下光秀†、川井修二†、岩间学†、田中克宏†、久吉佐藤子††、远藤宪明†

† 天游线路检测中心 EM 业务部
†† 天游线路检测中心电子光学设备销售总部

近年来，应用纳米级结构控制技术的新材料的开发以及应用这些材料的产品的开发正在积极进行。在这些产品的开发过程中，扫描透射/透射电子显微镜（(S)TEM）作为局部形貌观察和分析方法已成为不可或缺的手段。此外，在以半导体为中心的行业中，(S)TEM被放置在靠近生产线的部门，并日夜运行，以提高产量并分析故障因素。然而，当传统的（S）TEM放置在这些部门时，存在成本和可操作性等操作问题。该设备是为了解决这些问题而新开发的设备。产品概念和产品特点描述如下。