天游线路检测中心 离子切片机概述

用于制备TEM样品的离子铣削方法使用低能量Ar离子，其造成的损伤非常小，例如由于离子注入而形成非晶层，因此被广泛用作适合高分辨率观察的TEM样品制备方法。
但是，该过程很复杂，并且样品制备者的经验差异可能会导致完成的样品质量存在较大差异。
Ion Slicer™ 是一款为解决这些缺点而开发的设备。