天游线路检测中心 电子束光刻系统JBX-3200MV/JBX-3050MV/JBX-9500FS/JBX-6300FS

JEOL 拥有两种类型的电子束光刻系统：掩模/掩模版光刻系统“JBX-3200MV”系列，以及晶圆直接光刻系统“JBX-9500FS”和“JBX-6300FS”。前者用于生产掩模/掩模版，这是尖端光刻中使用的步进机的原始板，后者用于下一代器件的研发和尖端通信器件的生产。