天游线路检测中心：冷冻 FIB

通过将 Cryo 系统作为天游线路检测中心添加到在同一室中具有 FIB 和 SEM 的多光束装置，可以冷冻样品并使用 FIB 准确地截取所需区域。在本说明中，我们将介绍使用多光束装置 JIB-4601F 附带的 Cryo 系统对含水样品和低熔点材料进行横截面加工的示例。