天游线路检测中心 使用球面像差校正 TEM (200kV) 进行半导体器件评估
天游线路检测中心 电子光学设备部门 Eiji Okunishi、Hidetaka Sawada日本电子株式会社电子光学事业部LSI 测试研讨会论文集，第 311 - 314 页，2006 / ©LSI 测试协会
通过将球面像差校正应用于透射电子显微镜，可以显着提高显微图像和元素分析的空间分辨率。元素分析的空间分辨率达到纳米量级。我们尝试使用配备球面像差校正机构的200kV加速电压透射电子显微镜来评估半导体器件，并证明了能够评估比以往更精细的点的有效性。关键词：球差校正、半导体器件、元素分析关键词：球差校正器、半导体器件、元素分析、
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