天游线路检测中心 电子束绘图装置

11 灾害时的检查和预防措施

• 请确认安装室内的空调、排风设备、安全设备、供电设备、供气设备、冷却水设备等运行正常。

• 目视检查设备和安装室，确认设备是否因异常或地震灾害而移动。

• 如果您发现房间或设备外部有任何异常，例如进水或漏水，请勿打开电源。

• 打开电源后如果发现任何异常或异味，请立即关闭设备电源并关闭配电板上的断路器。

• 即使运行正常，也请勿在无人看管的情况下运行并在您的监督下使用。

12紧急停止方法

如果设备在使用时发出异常噪音或气味，或者发生地震，必须立即停止设备。
（详情请参阅设备附带的使用说明书）

• 按下紧急停止开关（配备紧急开关的型号）或关闭主（电源）开关。

• 停止设备后，关闭配电板上的设备断路器。

• 完全关闭冷却水。 （关闭CWC供水总阀）

• 完全停止氮气供应。

13 正常停止方法

如果您事先知道将发生停电，请执行以下操作来停止主机。 （详情请参阅设备附带的使用说明书）

• 请停止绘图并保存必要的文件。

• 灯丝，高压关闭（FEG 时发射关闭）

• 从菜单中选择“退出”以关闭 GUI。 （EWS/CPU 停止）

• 关闭输送装置、冷却水供给装置(CWC)和控制器的电源。

• 真空系统停止。 （对于 FE-Gun，打开电子枪 BACK UP 电源 => 如果购买）

• 关闭主机电源（关闭主机MAIN）

• 关闭主断路器。

• 关闭氮气和冷却水主阀。

14 正常通电时的注意事项

• 请确认安装室内的设备（电源、温控、通风、燃气、冷却水等）运行正常。

• 请目视检查设备并检查是否有任何异常。按照设备使用说明书启动设备。