天游线路检测中心 聚焦离子束加工和观察装置（FIB）

11 灾害时的检查和预防措施

• 请确认安装室内的排气设备、安全设备、动力设备、供气设备等运行正常。

• 请目视检查设备和安装室是否有任何异常。

• 天游线路检测中心您发现房间或设备外部有任何异常，或者发现进水或漏水等异常情况，请勿打开电源。

• 打开电源后天游线路检测中心发现任何异常或异味，请立即关闭设备电源并关闭配电板上的断路器。

• 即使运行正常，也请勿在无人看管的情况下运行并在您的监督下使用。

12紧急停止方法

天游线路检测中心设备在使用过程中发出异常噪音或气味，或者发生地震等灾难，必须立即停止使用该设备。

• 按下紧急停止按钮或关闭主（电源）开关。
• 请完全停止电源。

  • 从配电板上关闭设备断路器

• 请完全停止氮气供应。

  • 关闭钢瓶容器等主阀门

• 请完全停止冷却水供应。

  • 关闭冷水机等电源，或关闭冷却水总阀

13 正常停止方法

天游线路检测中心您事先知道将发生停电，请执行以下操作来停止主机。 （详情请参阅设备附带的使用说明书）
停止设备时，将图像和处理程序等数据保存到文件中。

• 停止电子枪/离子枪。
• 从菜单中选择“退出”以关闭 GUI。
• 关闭电脑、外围设备、冷水机、控制系统等的电源。
• 停止主断路器。
• 请关闭氮气和冷却水供应阀门。

14 正常通电时的注意事项

• 请确认安装室内的设备（电源、温控、通风、燃气、冷却水等）运行正常。
• 请目视检查设备并检查是否有任何异常。
• 请按照设备的使用说明书启动设备。
• 请确认打开电源后或设备运行时没有异常声音或气味。

• 天游线路检测中心出现奇怪的气味或噪音，请立即停止使用并联系我们的服务部门。