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11 Checks and precautions in case of disaster

• 请确认安装室内的排气设备、安全设备、供电设备、供气设备、冷却水设备等运行正常。

• 目视检查设备和安装室，确认设备是否因异常或地震灾害而移动。

• 如果发现房间或设备外部有任何异常情况，例如进水或漏水，请勿打开电源。

• 打开电源后如果发现任何异常或异味，请立即关闭设备电源并关闭配电板上的断路器。

• Even if it is operating normally, please do not operate it unattended and use it under your supervision

12紧急停止方法

如果设备在使用时发出异常噪音或气味，或者发生地震，必须立即停止设备。

• 关闭配电柜断路器，并尽可能关闭安装室内的燃气和冷却水总阀。
• 请关闭您的电脑和工作站并拔下交流电源插座。

13 正常停止方法

If you know in advance that a power outage will occur, please perform the following operations to stop the main unit (For details, please refer to the instruction manual included with the device)

• 关闭排放和高压

• 关闭外围设备控制器电源并关闭PC

• 关闭EPMA的PC和工作站

• 关闭主机电源（关闭主机开关）

• 关闭N2气、PR气、冷却水总阀。

14 正常通电时的注意事项

• 请确认安装室内的设备（电源、温控、通风、燃气、冷却水等）运行正常。

• 请目视检查设备并检查是否有任何异常。

• 请按照设备的使用说明书启动设备。

• 打开电源后如果感觉任何异常或异味，请立即停止使用并联系我们的服务中心。