该装置将样品放入腔室中，在真空中产生氧等离子体，对样品表面进行改性并进行低温灰化。
功能
低温处理，因此样品不会损坏。
易于操作。只需将样品放入箱内，关上箱门，按下启动按钮，系统就会自动开始“抽真空”、“通氧”、“等离子处理”、“释放到大气”。
高频输出稳定。
处理时间可以数字化设置，因此处理时间没有变化。
规格/选项
| 主要规格 | |
|---|---|
| 腔室尺寸 | 内径68毫米x深度250毫米（派热克斯玻璃） |
| 氧气流量设置 | 针阀可变最大100cc/min |
| 进气口 | 3mm Swagelok (请使用01MPa以下气压) |
| 高频功率输出 | 2～50W |
| 振荡频率 | 1356MHz |
| 处理时间设置 | 1~9999秒 |
| 真空计 | 皮拉尼真空计（带报警触点） |
| 外部尺寸 | 350mm(宽)×500mm(深)×200mm(高) |
| 质量 | 10公斤 |
| 电源 | AC100V 50/60Hz |
| 功耗 | 05KVA |
| 标准配件 | |
| 样品板 | 由耐热玻璃制成 |
| 真空泵 | 油回转真空泵50升/分钟（带防回流机构） |
| 软管 | 1m（带真空安装支架） |
| 选项 | |
| ArO2气瓶 | 基础气体 ArO2汽油 25% |
| 气缸支架 | |
| 油雾捕集器 | |
| 燃气调节器 | 一次压力25MPa /二次压力02MPa |
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