该装置由主体和旋转泵组成，主要用作扫描电子显微镜的样品制备装置，以在短时间内有效地将各种金属涂层涂覆到活体等非导电样品上。
功能
配备内置氩气驳船功能，可实现高效溅射。
由于阴极内置有永磁体，因此可以通过有效的辉光放电进行溅射。
由于可以设定溅射电流和腔室压力，因此可以控制涂层颗粒的循环，并且可以进行无阴影的涂层。
操作简便，可在短时间内涂覆出颗粒度极佳的产品。
通过使用可选的样品旋转和倾斜装置，可以改善由于环绕不充分而导致的充电问题。
目标：金 (Au)、金钯 (Au-Pd)
规格/选项
| 溅射法 | 磁控管型 |
|---|---|
| 工作压力 | ～10-1帕 |
| 溅射电流 | 10、20、30、40mA |
| 目标 | 铂金 (Pt) 标准 |
| 样品台 | 直径64毫米 |
| 样品台位置 | 可变（30-40毫米） |
| 真空室 | 120mm×100mm高度，玻璃材质 |
| 真空监视器 | 皮拉尼真空计(也用作溅射电流显示) |
| 定时器 | 数字显示（1-300秒） |
| 气体导入阀 | 内置 |
| 氩气驳船功能 | 内置 |
| 高压安全电路 | 内置 |
| 排气系统 | 直联式旋转泵30L/min |
| 所需电源 | 单相100V，50/60Hz，300VA |
| 车身尺寸/重量 | 350(宽)×340(深)×282(高)毫米, 12公斤 |
| 旋转泵尺寸和重量 | 280(宽)×120(深)×215(高)毫米, 10公斤 |
| 室温 | 20℃±5℃ |
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