本装置是一种样品制备装置，主要进行碳涂层，用于使用扫描电子显微镜、电子探针显微分析仪等进行元素分析。用于在短时间内有效地用碳涂覆非导电样品。
规格/选项
| 气相沉积法 | 电阻加热型 |
|---|---|
| 工作压力 | 20Pa以下 |
| 碳电极 | 1 对 |
| 使用碳棒 | 仅限φ50mm |
| 汽化电源 | 0~55V，最大。 100A |
| 样品台 | 直径64毫米 |
| 真空室 | 外径120mm x 高120mm，玻璃材质 |
| 过流保护电路 | 嵌入式 |
| 排气系统 | 直联式旋转泵30L/min(内置过温保护功能) |
| 所需电源 | 单相，AC100V，50/60Hz，800VA |
| 尺寸/质量 | 机身350(宽)×350(深)×282(高)mm, 12kg旋转泵280(W)×120(D)×215(H)mm, 10kg |
| 安装条件 | 25℃±5℃ |
配置
| 正文 | 1 个表达式 |
|---|---|
| 旋转泵 | 1 个公式 |
| 配件 | 1 个表达式 |
选项
○样品旋转倾斜装置(FC-RTS)
| 样品台旋转速度 | 大约。 30rpm（电机驱动） |
|---|---|
| 样品台倾斜角度 | 水平 ~ 70° |
| 配件 | 1 个表达式 |
| 样品架 | 10mmφ4个125mmφ4个32mmφ 1个 |
| 电源 | AC100V，50/60Hz，10VA |
| 适用机型 | 自动精细涂布机JEC-560 |
| 配置 | 1 台，1 个交流适配器 |
○降压变压器
交流100V，2kVA
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