这是一种离子溅射装置，作为扫描电子显微镜的样品制备装置，可以在短时间内有效地将各种金属镀在生物体等非导电样品上。
功能
使用氩气吹扫功能可以实现高效的溅射。
阴极内置永磁体，可以利用高效的辉光放电进行溅射。
操作简便，可在短时间内涂覆出颗粒度极佳的产品。
规格/选项
| 溅射法 | 磁控管型 | |
|---|---|---|
| 工作压力 | 20Pa以下 | |
| 溅射电流 | 10、20、30、40 毫安 | |
| 目标 | 铂 (Pt) 标准 Au、Au-Pd、Pt-Pd 选项 | |
| 样品台 | 64毫米直径 | |
| 真空室 | 外径 120 毫米 x 高度 100 毫米，玻璃制成 | |
| 真空监视器 | 皮拉尼真空计（也用作计时器显示器） | |
| 定时器 | 数字显示（1-300秒） | |
| 气体控制 | 内置 | |
| 氩气吹扫功能 | 内置 | |
| 高压安全电路 | 内置 | |
| 排气系统 | 直联式旋转泵100L/min（内置超温保护功能） | |
| 所需电源 | 单相100V，50/60Hz，800VA | |
| 尺寸/质量 | 正文 | 300(宽)×380(深)×290(高)毫米, 11公斤 |
| 旋转泵 | 225(宽)×525(深)×320(高)毫米, 23公斤 | |
| 安装室条件 | 25±5℃ | |
选项
样品旋转和倾斜装置(EC-30020RTS)可以改善由于样品不规则导致的包裹不足
| 转速 | 50±10rpm（电机驱动） |
|---|---|
| 倾斜角度 | 水平至 90°（手动） |
| 样品架 | 125mmφ，4个/32mmφ，1个 |
| 电源 | AC100V，50/60Hz，30VA |
| 适用机型 | JEC-3000FC自动精细涂布机 |
| 配置 | 1台，1个玻璃缸，1套配件 |
外观和规格如有更改，恕不另行通知。
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