碳镀膜机是一种样品制备装置，对扫描电子显微镜等元素分析样品进行碳气相沉积。
功能
采用专用高纯度碳棒作为蒸发源，形成杂质少的薄膜。
碳棒可以轻松地设置在夹形电极上。
可以通过调整样品台的高度来调整薄膜厚度。
规格/选项
| 工作压力 | 小于20帕 |
|---|---|
| 排气速度 | 10分钟内达到3 Pa（如果没有样品） |
| 碳电极 | 1 对 |
| 汽化源 | 特殊碳棒（直径1mm） |
| 样品阶段 | 直径 64 毫米 |
| 气相沉积源-样品台距离 | 135～165毫米 |
| 排气时间 | 30 秒 |
| 排气系统 | 直联式旋转泵 135 L/min内置过温保护功能 |
| 服务网点 | 1个AC100V 1A（用于样品旋转和倾斜装置） |
安装表格
| 正文 | 桌面安装类型 |
|---|---|
| 旋转泵 | 落地式 |
尺寸，质量
| 正文 | 宽350毫米×深420毫米×高440毫米约18公斤 |
|---|---|
| 旋转泵 | 约宽170毫米×深4875毫米×高2495毫米27公斤 |
安装条件
| 电源 | 单相交流 100 V，50/60 Hz，14 kVA |
|---|---|
| 接地 | D 类接地（100 Ω 或更小） |
| 室温 | 20±5 ℃ |
| 湿度 | 60% 或更少 |
| 防护等级 | IP30 |
选项
样品旋转和倾斜装置(EC-30030RTS)
可以改善因样品不均匀而导致的包绕不足现象。
| 转速 | 50±10 rpm（电机驱动） |
|---|---|
| 倾斜角度 | 水平至 90°（手动） |
| 样品架 | 直径125毫米，4件/直径32毫米，1件 |
| 电源 | 交流100V，50/60Hz，30VA |
| 适用机型 | EC-32010CC碳涂层机 |
| 配置 | 1台，1个玻璃缸，1套配件 |
申请
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