激光与SEM相结合实现高质量大面积加工和测量
“天游线路检测中心”是一种将 JEOL 销售的 SEM 与 Hamamatsu Photonics 独特的激光技术相结合的设备，可在电子显微镜样品室内进行激光加工。通过高速、大面积处理获得的高质量横截面样品可以无缝转移到SEM观察、元素分析、晶体取向分析等各种分析中，而无需将其暴露在样品室外部。这满足了广泛的需求，包括金属样品分析、需要不暴露在大气中的电池分析以及需要高速横截面处理的半导体故障分析。
功能
配备飞秒激光器、能够进行高质量横截面加工的SEM诞生
点。 1始终在样品室中实现高质量的横截面加工
天游线路检测中心是配备激光加工系统的SEM，可在样品室内实现高速、广域横截面加工。通过采用能够对激光束进行空间相位调制的独特光学系统，可以用更少的LIPSS结构进行高质量的横截面加工。
点。 2防止样品室污染
独创的屏蔽技术 天游线路检测中心 Shield 可防止加工过程中碎片飞扬。保持探测器、镜筒和样品室壁清洁。
点。 3激光断面加工⇔ SEM无缝观察
您可以在 SEM 样品室内快速切换处理和观察。由于只能通过激光加工才能获得 EBSD 质量的截面，因此也可以通过自动重复加工和测量来获得 3D EBSD。
通过结合激光和SEM，可以快速进行大面积加工和测量
使用广域高速处理的金属样品测量示例
覆盖范围广，处理时间短。大面积处理和EBSD图采集可在1小时左右完成。它以令人难以置信的速度无缝地执行从处理到分析的所有操作。
样品：Mo 板 处理时间：大约。 30分钟
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