该设备是一款扫描电子显微镜,通过改进照射系统、排气系统和信号处理系统,不仅可以提供高质量的观察,而且还可以使用触摸屏操作和高速载物台实现高通量和直观的操作。
功能
功能追求
高品质图像
通过改进电子光学系统,我们实现了比以往更高的图像质量。
静电对策
新的扫描方法可以让您在更好的条件下拍摄容易带电的样品。
低真空模式 (LV)
真空度为10Pa至650Pa。这扩大了应用范围。
查找视野
通过优化载物台速度,低倍率视场的高速移动和高倍率视场的微调现在更加平滑。此外,通过结合载物台导航系统(可选),即使在大型样品室中也可以轻松找到视野。
分析
大电流模式允许1μA的大电流(20kV以上的加速电压)。即使在观察和分析过程中切换照射电流时,变焦聚光镜头也能最大限度地减少视野偏移。 R 级可以轻松地重新定向样品以匹配探测器的方向。
全面扩展的可扩展性
配备大型样品室
它有一个大的样品室,可容纳高达 8 英寸 φ x 80 毫米高的样品。
2公斤的最大负载能力也很有吸引力。
多功能室
连接端口位置的设计已经过优化,允许同时安装EDS/WDS/EBSD。
EDS/EBSD可同向安装。此外,现在还可以安装面型 EDS。
高速载物台移动
新开发的电机平台可实现高速平台移动。 (是我们公司的15倍)
标准5轴电机平台
Eucentric 倾斜和 Eucentric 旋转也作为标准配置包含在内。这确保了当样品倾斜或旋转时视场的中心不会移动。此外,输入样品高度可以防止样品与检测器之间的接触。
提高真空抽速
通过改进抽空方法,即使是大型样品室也可以更快地抽空。 (是我们公司的14倍)
可操作性探索
触摸式界面
新的用户界面使其使用起来更加方便。当然它支持触摸操作。
您还可以调整用户界面的大小。您可以在分析和组织数据时选择您的工作区域。
多用户/多任务
用户注册允许多个用户维护自定义且舒适的操作环境。
兼容多语言
您可以使用图标在用户界面的日语和英语显示之间切换。您可以根据情况现场选择语言。
规格/选项
| 分辨率 | 高真空模式 30 nm (30 kV) 150 nm(10 kV) |
|---|---|
| 低真空模式 40 nm (30 kV BED) | |
| 放大倍数 | ×5 ~ ×300,000 |
| 预设放大倍率 | 6 个级别(用户可配置) |
| 电子枪 | W 灯丝全自动,手动可调 |
| 加速电压 | 03kV ~ 30kV |
| 长丝 | 工厂预对中类型 |
| 辐照电流 | 1 pA 至 1 μA |
| 低真空压力设定范围※1 | 10~650帕 |
| 聚光透镜 | 高精度变焦型 |
| 物镜 | 圆锥形 |
| 物镜光圈 | 3级带XY微调功能 |
| 散光记忆 | 是(WD10 毫米) |
| 自动功能 | 对焦、亮度/对比度、污点校正 |
| 样品交换 | 打开样品室门并更换 |
| 最大样本量 | 200毫米直径80毫米高度(WD10毫米) |
| 样品台 | 大型同心型X:125毫米 Y:100毫米 Z:80毫米倾斜:-10 至 90° 旋转:360° |
| 标准配方 | 是 |
| 图像模式 | 二次电子图像、REF图像、合成图像、不均匀图像、3D图像 |
| 比较屏幕(快照) | 6张图像(可在拍摄条件下保存、调用和再现) |
| 操作系统 | Windows®7 |
| 观察监视器 | 23英寸触摸屏(显示分辨率 1,920 x 1,080) |
| 像素数 | 640×480〈1,280×960〉2,560×1,920〈5,120×3,840 |
| 切换图片显示 | 是(2屏显示、全屏显示、信号叠加显示) |
| 数字图像调整 | 是(伽马校正、伪彩) |
| 柱状图显示 | 是 |
| 测量功能 | 是(两点之间的距离、平行线之间的距离、角度、直径等) |
| 3D 测量图像创建 | 是※2 |
| 浮雕图像创建 | 是 |
| 图像编辑软件 | 微笑视图™ |
| 切换语言 | 可在用户界面上使用(日语/英语) |
| 图像格式 | BMP、TIFF、JPEG |
| 图片自动保存 | 是 |
| 排气系统 | 全自动TMP:1台RP:1 或 2 单位※1 |
| 真空模式切换 | 可在操作画面上切换 |
Windows 是 Microsoft Corporation 在美国和其他国家/地区的注册商标或商标。
主要选项
背散射电子探测器※1
低真空二次电子探测器
能量色散 X 射线光谱仪 (EDS)
波长色散X射线光谱仪(WDS)
电子背散射衍射检测器 (EBSD)
装载室(备用交换室)
舞台导航系统
暗室范围
操作面板
LaB6 电子枪
3D测量软件※2
操作台
仅适用于 LV/LA 标准
测量需要专用软件。
外观和规格如有更改,恕不另行通知。
申请
与 JSM-IT300 相关的应用
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