功能
这是一种通过结合场致发射型天游8线路检测中心枪、半透镜方式和柔和光束(GB)来追求高分辨率的SEM。与GB结合,即使在极低的样品能量达到数百eV的情况下也可以获得高分辨率,使其成为观察最外层表面的理想设备。当然,可以安装元素分析等各种选项。
保持多功能性并提供最高分辨率的组合
使用柔和光束使用极低能量入射天游8线路检测中心进行顶面观察 (GB)
通过向样品施加偏置电压并用天游8线路检测中心束照射它,您可以使用 GB 模式,与普通模式相比,它可以提高分辨率。通过与具有高分辨率的 JSM-7500F 光学系统相结合,可以利用天游8线路检测中心来观察样品的最外层表面,样品的能量达到数百 eV,这在以前很难以高分辨率进行观察。
使用新的 r 滤波器选择性检测二次天游8线路检测中心和反射天游8线路检测中心
新型r滤波器有四种类型:标准SB(二次天游8线路检测中心检测)模式、标准BE模式(背散射天游8线路检测中心检测)、Sb模式(二次天游8线路检测中心优先)和Bs模式(背散射天游8线路检测中心优先)。在Sb模式下,反射天游8线路检测中心可以与二次天游8线路检测中心以任意比例混合进行检测。 Bs模式可以检测以任意比例与反射天游8线路检测中心混合的二次天游8线路检测中心。这些操作可以在易于理解的菜单窗口上通过一键式操作来执行。
应用示例
使用高分辨率光学系统观察最外层表面的精细结构 JSM-7500F 是一款 SEM,其光学系统结合了即使在低加速电压下也能缩小天游8线路检测中心束的场致发射天游8线路检测中心枪和半透镜内物镜。此外,通过添加GB模式,可以利用到达样品的能量极低的天游8线路检测中心来观察SEM图像,从而更容易观察样品的最外表面。下左图是聚合物晶体的 SEM 图像,显示了最外表面的晶体生长步骤。底部中心和右侧的图像是观察介孔二氧化硅微观结构的示例。可以清楚地观察到微小的毛孔。
样品:聚合物晶体样品到达能量:05keV
样品:介孔二氧化硅样品到达能量:08keV
规格/选项
| 二次天游8线路检测中心图像分辨率 | 10nm (15kV), 14nm (1kV) | ||
|---|---|---|---|
| 放大倍数 | ×25~×1,000,000 | ||
| 加速电压 | 01kV~30kV | ||
| 照射电流示例 | 1pA~2nA | ||
| 自动光圈角优化镜头 | 嵌入式 | ||
| 探测器 | 上部探测器向下探测器 | ||
| 能量过滤器 | 新的 r 滤波器 | ||
| 柔和的光束 | 内置 | ||
| 数字图像 | 1,280×960像素、2,560×1,920像素5,120×3,840 像素 | ||
| 样品交换室 | 内置一键兑换功能 | ||
| 样品台 | 同心、5 轴电机驱动 | ||
| 类型 | IA | 二 | 三 |
| X-Y | 70毫米×50毫米 | 110mm×80mm | 140mm×80mm |
| 坡度 | -5~+70° | -5~+60° | -5~+60° |
| 旋转 | 360° | 360° | 360° |
| 工作距离 | 15mm~25mm | 15mm~25mm | 15mm~25mm |
| 排气系统 | 3 SIP、磁悬浮 TMP、RP、前级疏水阀 | ||
| 节能设计 | 标准运行:12kVA睡眠模式:1kVA操作系统关闭时:076kVA | ||
二氧化碳当量功耗
| 每小时二氧化碳2排放 | 年二氧化碳2排放 | |
|---|---|---|
| 正常运行期间 | 0481公斤 | 4,214公斤 |
| 处于睡眠模式 | 0411公斤 | - |
| 排气系统关闭时(离子泵开启) | 0286公斤 | - |
主要选项
可伸缩背散射天游8线路检测中心探测器
镜头内背散射天游8线路检测中心探测器
能量色散X射线光谱仪(EDS)
晶体取向分析仪 (EBSD)
透射天游8线路检测中心探测器
液氮捕集器
申请
与 JSM-7500F 相关的应用
高角度检测背散射天游8线路检测中心和低角度检测背散射天游8线路检测中心
生物组织切片的广域蒙太奇技术:使用高精度载物台和增强的自动功能创建高清 SEM 图像的巨大拼接照片
JSM系列支持石棉纤维的观察和分析! :JSM-7401F、JSM-6480LA
图库
