功能
这是一种通过结合场致发射型电子枪、半透镜方式和柔和光束（GB）来追求高分辨率的SEM。与GB结合，即使在极低的样品能量达到数百eV的情况下也可以获得高分辨率，使其成为观察最外层表面的理想设备。当然，可以安装元素分析等各种选项。
保持多功能性并提供最高分辨率的组合
使用柔和光束使用极低能量入射电子进行顶面观察 (GB)
可以使用GB模式，通过向样品施加偏置电压并用电子束照射它，与正常相比提高了分辨率。通过与具有高分辨率的 JSM-7500F 光学系统相结合，可以利用电子来观察样品的最外层表面，样品的能量达到数百 eV，这在以前很难以高分辨率进行观察。
使用新的 r 滤波器选择性检测二次电子和反射电子
新型r滤波器有四种类型：标准SB（二次电子检测）模式、标准BE模式（背散射电子检测）、Sb模式（二次电子优先）和Bs模式（背散射电子优先）。在Sb模式下，反射电子可以与二次电子以任意比例混合进行检测。 Bs模式可以检测以任意比例与反射电子混合的二次电子。这些操作可以在易于理解的菜单窗口上通过一键式操作来执行。
应用示例
使用高分辨率光学系统观察最外层表面的精细结构 JSM-7500F 是一款 SEM，其光学系统结合了即使在低加速电压下也能缩小电子束的场致发射电子枪和半透镜内物镜。此外，通过添加GB模式，可以利用到达样品的能量极低的电子来观察SEM图像，从而更容易观察样品的最外表面。下左图是聚合物晶体的 SEM 图像，显示了最外表面的晶体生长步骤。底部中心和右侧的图像是观察介孔二氧化硅微观结构的示例。可以清楚地观察到微小的毛孔。
样品：聚合物晶体样品到达能量：05keV
样品：介孔二氧化硅样品到达能量：08keV
规格/选项
| 二次电子图像分辨率 | 10nm (15kV), 14nm (1kV) | ||
|---|---|---|---|
| 放大倍数 | ×25～×1,000,000 | ||
| 加速电压 | 01kV～30kV | ||
| 照射电流示例 | 1pA～2nA | ||
| 自动光圈角优化镜头 | 嵌入式 | ||
| 探测器 | 上部探测器向下探测器 | ||
| 能量过滤器 | 新的 r 滤波器 | ||
| 柔和的光束 | 内置 | ||
| 数字图像 | 1,280×960像素、2,560×1,920像素5,120×3,840 像素 | ||
| 样品交换室 | 内置一键兑换功能 | ||
| 样品台 | 同心、5 轴电机驱动 | ||
| 类型 | IA | 二 | 三 |
| X-Y | 70毫米×50毫米 | 110mm×80mm | 140mm×80mm |
| 坡度 | －5～＋70° | －5～＋60° | －5～＋60° |
| 旋转 | 360° | 360° | 360° |
| 工作距离 | 15mm～25mm | 15mm～25mm | 15mm～25mm |
| 排气系统 | 3 SIP、磁悬浮 TMP、RP、前级疏水阀 | ||
| 节能设计 | 标准运行：12kVA睡眠模式：1kVA操作系统关闭时：076kVA | ||
二氧化碳当量功耗
| 每小时二氧化碳2排放 | 年二氧化碳2排放 | |
|---|---|---|
| 正常运行期间 | 0481公斤 | 4,214公斤 |
| 处于睡眠模式 | 0411公斤 | - |
| 排气系统关闭时（离子泵开启） | 0286公斤 | - |
主要选项
可伸缩背散射电子探测器
镜头内背散射电子探测器
能量色散X射线光谱仪（EDS）
晶体取向分析仪 (EBSD)
透射电子探测器
液氮阱
申请
与 JSM-7500F 相关的应用
生物组织切片的广域蒙太奇技术：使用高精度载物台和增强的自动功能创建高清 SEM 图像的巨型拼接照片
JSM系列支持石棉纤维的观察和分析！ ：JSM-7401F、JSM-6480LA
图库
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