通过在 JEOL 的高分辨率热 FE SEM JSM-7000F 上安装 Beam Draw，实现了高度稳定和高精度的电子束光刻系统。JSM-7000F与Beam Draw的组合系统，将SEM的多功能性与电子束光刻相结合，能够满足研究人员对电子束光刻的多样化需求。
功能
使用高功率光学器件的电子束光刻中使用的辐照电流范围
实现数 pA 至数 nA 的 3 nm 高分辨率
实现辐照电流稳定性<1%/小时
使用SEM观察功能，可以直接观察使用SEM的绘图结果。
可以与 EDS、WDS 和 EBSD 等分析设备一起安装。 （EBSD 使用 SEM 台）
载物台配置有三种类型可供选择：SEM 载物台、用于绘图的精密载物台和带激光干涉仪的载物台。可以根据设备的使用目的来选择设备配置。
可以对现有的 FE-SEM JSM-6500F、JSM-7000F、JSM-6700F 和钨 SEM JSM-6360、JSM-6460 进行改造。
申请
与 JSM-7000F_Beam_Draw 相关的应用
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