通过为 JEOL 的高分辨率热 FE SEM JSM-7000F 配备 Beam Draw，实现了高度稳定且高精度的电子束光刻系统。JSM-7000F与Beam Draw的组合系统将SEM的多功能性与电子束光刻相结合，能够满足研究人员对电子束光刻的多样化需求。
功能
天游线路检测中心高功率光学器件的电子束光刻中天游线路检测中心的辐照电流范围
实现数 pA 至数 nA 的 3 nm 高分辨率
实现辐照电流稳定性<1%/小时
天游线路检测中心SEM观察功能，可以直接观察天游线路检测中心SEM的绘图结果。
可与 EDS、WDS 和 EBSD 等分析设备一起安装。 （EBSD 天游线路检测中心 SEM 台）
载物台配置有三种类型可供选择：SEM 载物台、用于绘图的精密载物台和带激光干涉仪的载物台。可以根据设备的天游线路检测中心目的来选择设备配置。
可改装至现有的 FE-SEM JSM-6500F、JSM-7000F、JSM-6700F 和钨 SEM JSM-6360、JSM-6460。
申请
与 JSM-7000F_Beam_Draw 相关的应用
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