JSM-6390/JSM-6390LV与JEOL元素分析仪相结合，提供舒适的操作环境。您可以无缝地执行从观察到分析的所有操作。使用 JSM-6390LA，即使是非导电样品也可以按原样进行观察和分析。
规格/选项
| 分辨率 | 30nm(30kV),80nm(3kV),15nm(1kV) |
|---|---|
| 放大倍数 | ×5～300,000 |
| 尺寸示例 | 150mmφ |
| 元素分析仪 | 内置 EDS |
| 低真空扫描电镜 | 内置于 JSM-6390LA，40nm(30kV) |
应用
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