[已售完] JXA-8530F 场发射电子探针微量分析仪(FE-EPMA) |产品信息|日本电子株式会社| 日本电子株式会社产品信息|日本日本株式会社

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配备场致发射电子枪的EPMA (FE-EPMA)已通过使用PC窗口的新操作系统获得重生。
由于JEOL在全球率先将革命性的FE-EPMA商业化，可实现01微米量级的元素分析，因此已广泛应用于金属、材料、地质等各个领域，并获得了高度评价。 FE-EPMA 继承了之前型号的出色硬件性能，同时通过熟悉的基于 PC 的操作提高了可用性。
极小区域内的高精度元素分析将变得更加容易。

功能

打开微量分析新大门的钥匙

电脑操作

EPMA 快速入门
用户食谱
“在此分析”功能
EPMA 浏览器
X射线图像（WDS）实时合成
EDS 活动地图*
新开发的超轻元素分光元件

同时采集所有光谱

使用 FE 电子枪进行高分辨率分析

FE电子枪与使用W灯丝或安装在通用EPMA上的LaB6芯片的热离子发射电子枪相比，可以将探针直径减小到1/2至1/10。

FE电子枪即使在低加速电压和WDS分析电流范围（几nA到几百nA）内也可以获得微小探针，从而可以使用低加速电压实现高X射线空间分辨率分析。

“在此处分析”功能，用户配方

在观察二次电子图像或背散射电子图像时，它配备了“在此处分析”功能，只需单击图像上的任意点即可获得 WDS 定性分析或简单的定量分析结果，还配备了用户配方功能，可以轻松访问分析条件。通过简单的操作，您就可以利用 FE-EPMA 的高性能进行分析。

高级操作

您还可以根据需要设置详细的分析条件。可以使用精心选择的分析条件进行极小区域的元素分析。此外，比以往更丰富的应用程序和更易于使用的软件支持多方面的数据分析。例如，通过使用探针跟踪，不仅可以更可靠地执行高倍率表面分析，还可以更可靠地执行连续视场点分析。

WD/ED 联合系统

我们进一步开发了 JEOL 的 WDS 和 EDS，以创建易于使用的 WD/ED 联合收割机系统。擅长微量元素分析的 WDS 与 JEOL 完善的分析 SEM 的 EDS 系统相结合，将最大限度地发挥其在定量分析中高效收集数据、放大数万倍的光束扫描图以及大范围的阶段扫描图的能力。

规格/选项

分析元素范围	WDS：（是※) B～U,EDS: B～U
X射线光谱范围	WDS光谱范围：0087-93 nm， EDS 能量范围：20 keV
X射线光谱仪的数量	WDS：1至5个单位选择，EDS：1个单位
最大样本量	100毫米×100毫米×50毫米（高）
加速电压	1 至 30 kV（01 kV 步长）
辐照电流范围	10-12～ 5×10-7A
辐照电流稳定性	± 03%/小时
二次电子分辨率	3 nm（工作波长11 mm，30 kV）
分析条件最小探头直径	40 nm（10 kV，1×10-8A) 100 nm（10 kV，1×10-7A)
扫描放大倍率	× 40 至 × 300,000（宽、深 11 毫米）
扫描图像分辨率	最大 5120 × 3840
彩色显示屏	对于 EPMA 分析：LCD 1280 × 1024 对于SEM操作、EDS分析：LCD 1280 ×1024