天游线路检测中心 使用配备新型波长色散软X射线发射光谱仪的电子探针微量分析仪进行元素分析和状态分析
JEOL 新闻，2012 年第 44 期 高桥英行†、饭田伸夫†、村野刚典†、寺内雅美††、小池雅人†††、河内哲也†††、今园隆†††、小江田胜††††、长野哲也††††、笹井宏之††††,大上由纪††††、米泽吉雄††††、仓本聪††††† 天游线路检测中心 外围设备业务部†† 东北大学多学科材料科学研究所先进测量开发中心††† 日本原子能机构量子束应用研究部†††† 岛津制作所设备部光学事业部
a之前为透射电子显微镜 (TEM) 开发的软 X 射线发射光谱仪已安装在电子探针显微分析仪 (EPMA) 上。我们开发了一种新的JS50XL，一种非均匀间隔的凹槽衍射光栅，可以在低能量范围内同时分析50至170eV的能量范围，并将其与背照式CCD探测器结合开发出这款光谱仪。在这个低能区，Al金属的Al-L发射具有小于02 eV的高能量分辨率，使得可以观察费米边及其低能电子态密度，从而可以分析微观区域的状态。该检测器使用背照式 CCD，可实现并行检测和采集光谱图，该光谱图存储样品上每个像素的光谱。结果，可以捕获反映从微米级到约10cm见方的实际样品的化学键状态的分布。 EPMA配备了新开发的软X射线发射光谱仪，具有高能量分辨率和高灵敏度等多种特点，我们将介绍其新功能的示例。
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