ty8天游线路检测中心配备新型波长色散软X射线发射光谱仪的电子探针微量分析仪进行元素分析和状态分析

之前为透射电子显微镜 (TEM) 开发的软 X 射线发射光谱仪已安装在电子探针显微分析仪 (EPMA) 上。我们开发了一种新型 JS50XL，这是一种非均匀间隔凹槽衍射光栅，能够在 50 至 170eV 的低能量范围内进行光谱分析，并将其与背照式 CCD 探测器结合起来开发了这款光谱仪。在这个低能区，Al金属的Al-L发射具有小于02 eV的高能量分辨率，使得可以观察到费米边及其低能电子态密度，使得分析微观区域的态成为可能。通过ty8天游线路检测中心背照式CCD检测器，还可以进行并行检测，并且还可以获得存储样本上每个像素的光谱的光谱图。结果，可以捕获反映从微米级到约10cm见方的实际样品的化学键状态的分布。 EPMA配备了新开发的软X射线发射光谱仪，具有高能量分辨率和高灵敏度等多种功能，我们将介绍其新功能的示例。