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截面样品制备装置该设备在干燥的真空室中使用离子束处理样品。样品移动机构可调节离子束的平行度和照射位置，轻松定位样品。这是一种样品制备装置，例如 SEM/EPMA，沿着屏蔽材料照射离子以形成横截面。
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