物联网横截面抛光机™的诞生
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特長
新的 GUI 和 IoT ~操作屏幕和遥控器，易于使用 ~
新的 GUI 使操作过程更易于理解。
可以根据流程图设置处理条件。
预设功能允许您保存和调用与样品匹配的处理条件。
您可以通过网络连接通过网络浏览器访问 CP。
您可以远程检查和操作多台机器的加工状态。
haisuruputtoionsosu ～标准加工reーto1,200 μm/h以上～
イオンソース电极の最适化と高加速电圧化によって、イオン电流密度が向上したハイsuruープットイオンソースを标准装备しています。
样品：硅晶圆离子能量：10 keV，处理时间：1小时
高通量冷却系统~自动冷却并返回室温~
从冷却到恢复到室温可以自动完成。
另外，为了维持冷却停留时间和样品冷却温度，从设备侧供给液氮
坦克周围的区域可以疏散。
可在-120°C 下处理8小时。
由于通过插入和移除冷却导体来控制冷却温度，因此可以抑制液氮的消耗。
当罐中有液氮时可以更换样品。
规格/选项
请参阅产品目录。
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天游web原生态手机端-19540CP/天游web原生态手机端-19550CCP 横截面抛光机™
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