新配备了高速和精加工,我们实现了高产量和高横截面质量。此外,对于易受热损坏的样品,间歇模式是标准配置。它已经发展到适应各种材料加工。
功能
截面抛光机 (CP) 已经发展。利用新开发的离子源实现高速加工
通过精加工和间歇模式减少样品损坏
快速启动功能节省时间
抗静电涂层功能(可选)
IB-19500CP 的特点
★配备新开发的高速离子源
实现500μm/h(8KV/2小时平均值)
实现500μm/h(8KV/2小时平均值)
8KV,2小时处理结果(样品:Si)
★可选择整理方式
通过在高速加工后设置精加工
减少加工截面表层的离子损伤。
通过在高速加工后设置精加工
减少加工截面表层的离子损伤。
★断续加工的损伤对策
标配间歇加工模式,减少对试样的热损伤。
可以以 1 秒增量设置间歇。
标配间歇加工模式,减少对试样的热损伤。
可以以 1 秒增量设置间歇。
(样品:锡铅共晶)
SEM 应用示例
纸张的横截面
纸张的横截面是用剃刀做出的,但纸张纤维在切割过程中不可避免地会被压碎。
如本例所示,CP 允许您创建损伤较小的横截面。
金线键合
可以创建金等软材料的横截面而不损坏它们。适用于评估粘合接头中的空隙。传统上用作横截面制备方法的机械抛光存在诸如压碎空隙、金中嵌入磨粒、界面剥落以及留下抛光划痕等问题,但CP使生产无伪影的横截面成为可能。
规格/选项
| 离子加速电压 | 2~8kV |
|---|---|
| 离子束直径 | 500μm以上(半宽) |
| 铣削速度 | 500μm/h(2小时平均值,加速电压:8 kV,Si当量,边缘距离100μm) |
| 最大可加载样本大小 | 11mm(宽)x 10mm(长)x 2mm(厚)20mm(宽)x 12mm(长)x 5mm(厚):选项 |
| 移动范围示例 | X轴±10mm Y轴±3mm |
| 样本旋转角度调整范围 | ±5° |
| 样品加工摆角 | ±30°(专利号4557130) |
| 如何操作 | 触摸屏,65 英寸显示屏 |
| 使用的气体 | 氩气(通过质量流量控制器控制流量) |
| 压力测量 | 潘宁真空计 |
| 主排气系统 | 涡轮分子泵 |
| 辅助排气系统 | 旋转泵 |
| 尺寸/质量 | 机身:545毫米(宽)x 550毫米(深)x 420毫米(高)64公斤旋转泵:150毫米(宽)x 427毫米(深)x 230毫米(高)16公斤 |
| 选项 | 碳涂层盒样品旋转支架大样品架高精度CCD相机视频信号输出端子 |
