适用于SEM观察和晶体取向分析的标准离子束截面样品制备装置
功能
即使机械抛光很难做到这一点,也可以创建干净的样品横截面。
非常适合创建包含硬质和软质材料混合物的复合材料横截面。
IB-09010CP是用于截面加工的离子铣削装置。
配备自动启动功能,无需等待即可开始加工。加工从最佳真空水平开始。
8kV电源选项,快速处理速度为300 µm/h(硅基板当量,突出量:100 µm,2小时平均值)
触摸屏操作方便
IB-09010CP 的特点
★通过彩色液晶触摸屏操作
加工条件通过触摸屏设定,在彩色液晶显示屏上易于读取。
★标配CCD相机,用于检查加工位置
您可以在易于阅读的屏幕上轻松调整加工位置。
★离子加速电压最大8kV(可选)
铣削速度将会提高。
标准最大为6kV。
SEM 应用示例
纸张的横截面
纸张的横截面是用剃刀做出的,但纸张纤维在切割过程中不可避免地会被压碎。
如本例所示,CP 允许您创建损伤较小的横截面。
金线键合
可以创建金等软材料的横截面而不损坏它们。适用于评估粘合接头中的空隙。传统上用作横截面制备方法的机械抛光存在诸如压碎空隙、金中嵌入磨粒、界面剥落以及留下抛光划痕等问题,但CP使生产无伪影的横截面成为可能。
规格/选项
| 离子加速电压 | 2 至 6kV(8kV:选项) |
|---|---|
| 离子束直径 | 500μm以上(半宽) |
| 铣削速度 | 100μm/h以上(6kV)、300μm/h以上(8kV) |
| 最大可加载样本大小 | 11毫米(宽)x 10毫米(长)x 2毫米(厚)20mm(宽)x 10mm(长)x 5mm(厚):选项 |
| 移动范围示例 | X轴±10mm Y轴±3mm |
| 示例旋转角度调整范围 | ±5° |
| 样品加工摆角 | ±30°(专利号4557130) |
| 如何操作 | 触摸屏 |
| 使用的气体 | 氩气(通过质量流量控制器控制流量) |
| 压力测量 | 潘宁真空计 |
| 主排气系统 | 涡轮分子泵 |
| 辅助排气系统 | 旋转泵 |
| 尺寸/质量 | 机身:545毫米(宽)x 550毫米(深)x 420毫米(高)64公斤旋转泵:150毫米(宽)x 427毫米(深)x 230毫米(高)16公斤 |
| 选项 | 8kV电源样品旋转支架高精度位置CCD相机大样品架 |
安装条件
| 电源 | 单相100至120V±10%,50/60Hz,05至06kVA |
|---|---|
| 接地端子 | D类接地(100Ω以下) |
| 氩气 | 工作压力:015±005MPa(10至20kg/cm2) 纯度999999%或更高(氩气、气瓶和调节器由客户提供)金属配管连接口:JISB0203 RC1/4 |
| 室温 | 15 ~ 25℃ |
| 湿度 | 60% 或更少 |
外观和规格如有更改,恕不另行通知。
申请
与 IB-09010CP 相关的申请
用于扫描电镜的高质量骨组织横截面的制备:横截面抛光机在生物标本中的应用
横截面样品制备装置应用:高分辨率扫描电子显微镜在多孔材料结构研究中的作用
