一种电子束扫描控制器，用于用一支电子枪执行双元或三元同时蒸发。
功能
可与JST-F系列电子枪电源配合使用，实现一支电子枪三元沉积。电子束以10ms的高速周期照射到每个坩埚的三个相邻点上。 （坩埚A→坩埚B→坩埚C→坩埚A）
每个光束照射时间由设定的输出比（A:B:C）决定。
您可以设置每个照射位置的扫描宽度和位置。
一种电子束扫描控制器，用于用一支电子枪执行双元或三元同时蒸发。
可与JST-F系列电子枪电源配合使用，实现一支电子枪三元沉积。电子束以10ms的高速周期照射到每个坩埚的三个相邻点上。 （坩埚A→坩埚B→坩埚C→坩埚A）
每个光束照射时间由设定的输出比（A:B:C）决定。
您可以设置每个照射位置的扫描宽度和位置。
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