等离子工艺用1356MHz/05kW/1kW/3kW/5kW射频电源。配备高效射频放大器，结构紧凑、重量轻。此外，射频电源内置自动匹配控制器功能，因此您只需使用主机即可控制射频电源和匹配系统的功率。
功能
功能
采用高效放大器构建功率转换效率高的射频电路，节省能源
快速自动匹配使用高速算法进行高速自动匹配
内置自动匹配功能的射频电源仅使用主机即可控制匹配系统也可以使用内置控制器手动操作射频电源和匹配盒
支持灵活的控制格式可进行外部模拟控制和串行通信控制
高可靠性将作为设备制造商积累的专业知识反馈到设计中
用法
溅射设备
CVD设备
等离子蚀刻设备
射频离子源
中和剂
使用示例
规格/选项
| 最大输出 | 500W | 1kW | 3kW | 5kW |
|---|---|---|---|---|
| 最大反射功率 | 100W | 100W | 500W | 500W |
| 输出连接器 | N型 | N型 | HN型 | DIN_7/16 型 |
| 振荡频率 | 1356MHz±001% | 1356MHz±001% | 1356MHz±001% | 1356MHz±001% |
| 输入电压 | 单相200V~220V | 单相200V~220V | 三相200V~220V | 三相200V~220V |
| 输入容量 | 12KVA | 18KVA | 5KVA | 8KVA |
| 输出稳定性 | ±2% 或更低（最大输出，50Ω 电阻负载） | ±2% 或更低（最大输出，50Ω 电阻负载） | ±2% 或更低（最大输出，50Ω 电阻负载） | ±2% 或更低（最大输出，50Ω 电阻负载） |
| 高频失真率 | - 35dB（连续模式，额定输出/50Ω负载） | - 35dB（连续模式，额定输出/50Ω负载） | - 35dB（连续模式额定输出/50Ω负载） | - 35dB（连续模式，额定输出/50Ω负载） |
| 冷却方式 | 强制风冷 | 强制风冷 | 强制风冷+水冷方式 | 强制风冷+水冷方式 |
| 尺寸 | 240mm（宽）495mm（深）150mm（高） | 240mm（宽）495mm（深）150mm（高） | 240mm（宽）495mm（深）150mm（高） | 240mm（宽）495mm（深）150mm（高） |
| 质量 | 11㎏ | 11㎏ | 23㎏ | 23㎏ |
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