JEOL 电子束蒸镀用电子枪电源是用于高熔点金属或化合物蒸镀的高性能、高压电源，由操作部分和控制部分组成，与电子枪组合时能够控制稳定的输出。
功能
高速自动回路和放电抑制装置抑制电子束蒸发源放电造成的负面影响。
电子束放电抑制装置内置于电源内，控制单元结构紧凑。
可以在带有 CRT 或模拟仪表的监视器上检查扫描状态。
外部输入/输出端子包括发射电流、电子枪开/关、XY扫描、互锁等标准规格。通过添加单元也可以进行CPU控制。
根据规格的不同，一个电子枪电源最多可以控制两支电子枪，并且还可以同时照射。
控制板的部分电路采用易于更换的插件，使维护变得快捷方便。
规格/选项
| 型号 | 最大输出 | 加速电压 | 发射电流 |
|---|---|---|---|
| JST-3C | 3kW | -4至-7kV | 0 ~ 05A |
| JST-10C | 10kW | -4 ~ -10kV | 0 ~ 1A |
| JST-16C | 16kW | -8 ~ -10kV | 0 ~ 16A |
| JST-30C | 30kW | -10～-15kV | 0 ~ 2A |
