该设备是适用于高速率金属厚膜沉积的电子束蒸发枪。标配长寿命灯丝，支持Φ50mm范围内500Hz以上的高速光束扫描，输出功率高达16kW。另外，由于电子枪顶部没有结构，蒸气附着少，因此维护也很容易。
功能
BS-60250DEM的主要特点
兼容16kW输出（兼容高速率蒸发）支持最大输出16kW（10kV、16A），实现金属薄膜的高速沉积。
标准使用长寿命灯丝标配长寿命灯丝，有利于延长维护周期。
支持大容量坩埚标准兼容φ50mm坩埚，通过使用选购的极片BS-60830PP250*，还可兼容100mL以上的φ70mm坩埚。*) 光束移动/扫描范围为 φ50mm。
支持500Hz或更高的高速电子束扫描通过使用新开发的扫描线圈改进光束扫描性能，我们为可升华材料实现了均匀的蒸发表面，并且还可以处理氧化物蒸发。
顶部平坦结构（膜沉积效应降低结构）
兼容大容量坩埚
通过使用专用可选长极片，可兼容容量为100mL以上的φ70mm大容量坩埚。
可维护性
电子枪的平顶结构减少了薄膜沉积，降低了维护频率。
兼容放电抑制结构
该结构减少了电子枪内部压力的突然升高，抑制了放电的发生。
低真空放电电阻测试结果
测试条件
工作压力：015Pa恒定（通入Ar气）
光束输出：10kV(8kV)，03A，10分钟
束流照射材料：W(BS-60250DEM) Ta2O5（传统电子枪）
电子枪电源：JST-16F/ST-AS10F
各种金属薄膜的蒸镀速率
高功率、高度聚焦的电子束能够实现各种金属薄膜的高速沉积。
使用大容量坩埚的高速率Al沉积示例
通过与大容量坩埚结合使用，可以进一步提高沉积速率。
二氧化硅2颗粒材料的熔化痕迹形状
使用新开发的大直径扫描线圈的高速光束扫描可以实现电介质材料的均匀熔化。
光束照射条件
输出：18kW(10kV，018A)
光束照射时间：5分钟
扫描方式：循环扫描模式（ICE电源标准功能）
光束扫描范围：φ50mm
径向扫描频率：135Hz
圆周扫描频率：570Hz
规格/选项
| 最大输出 | 16kW(10kV,16A) |
|---|---|
| 加速电压 | 6～10kV |
| 电子束偏转角 | 270 度 |
| 光束移动/扫描范围 | φ50mm |
| X轴扫描频率 | 135Hz |
| Y轴扫描频率 | 570Hz |
| 工作压力 | 7×10-2Pa 或更低 |
| 冷却水 | 5～8L/min，10～25℃ |
| 长丝 | φ08mm直线圈型 |
| 质量 | 大约。 14公斤 |
选项
格式：BS-60830PP250
名称：极片（大容量坩埚用长型）
外部尺寸
