天游线路检测中心 BS-60060DEBS / BS-60070DEBS 270°偏转式电子枪

功能

• 270°电子束偏转。

• 形状与JEBG-102UH0电子枪（180°偏转型）兼容。它可以很容易地更换。

• -4 kV 至-8 kV 的可变加速电压功能。无需将腔室向大气开放即可改变加速电压。

• 可以显着减少向基材散射的背向散射电子，从而减少对基材的损坏和薄膜的吸收。

• 可以与背散射电子陷阱结合使用，以进一步减少背散射电子损伤。

• 与传统电子枪相比，这种结构使得电子枪内部压力突然增大而难以发生放电。

• 配备灯丝组件上部更换机构，方便更换和清洁灯丝。

• 灯丝寿命明显长于传统灯丝。

• 低压接线盒具有可左侧或右侧安装的结构。

与 JEBG-102UH0 的形状兼容性

保险丝示例

电子束垂直照射蒸发材料，束斑接近正圆，能量密度高。
此外，它标配高速扫描功能，适合在高熔点、低导热率的氧化物和可升华材料上进行气相沉积。
可以获得良好的熔化痕迹，并且可以在较宽的沉积区域上获得均匀且可再现的膜厚度分布。

现货

扫描（XY 扫描）

扫描（圆形扫描）

通过与背散射电子陷阱结合减少背散射电子

与传统电子枪相比，向基板散射的背散射电子显着减少。
通过与背散射电子陷阱结合，进入基板的背散射电子量可抑制90%以上。
可以减少对基材的损坏和薄膜的吸收。

该图显示了在有和没有背散射电子陷阱的情况下测量到的到达基板的背散射电子量。
用电子束照射钨颗粒(加速电压-6kV，发射电流100mA)，并根据流过基板圆顶的电流测量反射电子的量。

相关链接

背散射电子陷阱

灯丝寿命

使用两种类型的灯丝来评估加速测试中的灯丝寿命。

Φ055螺旋型(102用)

Φ08 U型（60060用）

加速测试结果（直到灯丝断裂的时间）

加速测试条件

放电抑制结构

BS-60060DEBS / BS-60070DEBS电子枪的结构与传统电子枪相比，不易因电子枪内部压力突然增加而引起放电。

带 6 点坩埚的类型（可选）

BS-60070DEBS电子枪

它是垂直极片型电子枪。

功能

(1)通过使用垂直极片提高维护可操作性

• 由于坩埚上没有极片，因此易于安装和拆卸环形气相沉积材料。

• 可以防止坩埚上方极片因蒸汽污染而造成污染。

• 通过使用极片盖，无需拆下极片即可轻松进行清洁。它还可以防止由于极片移除而导致光束位置发生变化。

(2)梁位置偏移防止结构

• 由于具有抑制电子枪室内部极片温度上升的结构，因此与以往的立式极片型电子枪相比，能够抑制电子束位置偏移。

环炉遗址 (BS-60070DEBS)

线扫描

规格/选项

规格 BS-60060DEBS

• 最大输出受电源最大功率限制。

外部尺寸 BS-60060DEBS

规格 BS-60070DEBS

• 最大输出受电源最大功率限制。

外部尺寸 BS-60070DEBS

适用灯丝60060/60070通用

部件号 864353545

旧部件号820463507

5件/盒

Φ08U型
对于 60060/60070

适用灯丝组件60060/60070通用

部件号 780406940

对于 60060/60070

仅限极片盖 BS-60070DEBS

部件号 864969970

申请

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