天游线路检测中心 肖特基场发射扫描电子显微镜 JSM-IT800(i)/(is) 版本现已发售 - 使用下一代平台的 FE-SEM—

开发背景

扫描电子显微镜（SEM）应用于多个领域，包括纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学，其应用范围日益扩大。
此外，它还具有广泛的用途，从基础研究到生产现场和质量控制。
因此，对于更快地获取高质量数据以及更轻松地检查成分信息而无需担心分析的需求日益增长。

JSM-IT800使用与“镜头内肖特基Plus场发射电子枪”相同的平台来实现高分辨率观察，下一代电子光学控制系统“Neo Engine”，以及将我们自己的EDS融入易于使用的GUI“SEM Center”中的系统，以实现高速元素映射。此外，通过用模块替换SEM物镜，我们可以提供满足客户各种需求的设备。

JSM-IT800 拥有 5 种配备不同物镜的版本：通用 FE-SEM 的混合镜头版本 (HL)、可实现更高分辨率观察和分析的超级混合镜头版本（SHL/SHL，根据功能差异有 2 个版本）以及新开发的半镜头版本（I/IS，根据功能差异有 2 个版本），擅长观察半导体器件。

此外，JSM-IT800还可配备新型背散射电子探测器，即闪烁体背散射电子探测器(SBED)。 SBED具有良好的响应性，易于观察实时图像，并且可以在低加速电压下获得材料对比度图像。

主要特点

• 镜内肖特基 Plus 场发射电子枪
  通过结合电子枪和低像差聚光透镜实现了高亮度。即使在低加速电压（100nA@5kV）下也可以获得足够的照射电流，从而可以执行从高分辨率观察到高速元素映射和EBSD分析的一切。
• Neo 引擎（新型电子光学引擎）
  配备下一代电光控制系统，汇集了 JEOL 电光技术的精华。
  即使条件发生变化也可以进行稳定的观察。我们还在可用性方面取得了重大改进，包括自动功能。
• SEM 中心/EDS 集成
  我们已将操作 GUI“SEM Center”与我们自己的 EDS 完全集成，以实现下一代可操作性。此外，它还配备了Smile Navi，可帮助初学者如何操作SEM，以及LIVE-AI滤镜（Live Image Visual Enhancer-AI：LIVE-AI），使实时图像更容易查看。
• 半内嵌镜头版本 (i/is)
  半入式透镜利用物镜底部形成的强磁场透镜来聚焦电子束并实现超高分辨率。此外，它还能有效地收集样品中产生的低能二次电子，并通过上方的透镜内检测器 (UID) 对其进行检测。这使得能够对倾斜和横截面样品进行高分辨率观察和分析，这对于半导体器件的故障分析是必需的。此外，它对于电压对比观察也很有效。
• 上电子探测器（UED）
  上电子探测器（UED）可以安装在物镜上方。其优点是采集背散射电子图像以及使用样本偏压采集二次电子图像。从样品发射的电子由物镜内的 UID 滤光片选择。使用 UED/UID 可在一次扫描中获取多条信息。
• 新型背散射电子探测器
  闪烁体背散射电子探测器（SBED）具有优异的响应性，有利于在低加速电压下获取材料对比度图像。

主要规格

标准价格

JSM-IT800i版：99,600,000日元〜
JSM-IT800is版本：83,000,000日元~
（EDS内置）

计划销量

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• 产品信息
  JSM-IT800 场发射扫描电子显微镜