ty8天游官网登录干涉条纹|词汇表 |日本日本株式会社

ty8天游官网登录条纹

当在没有弯曲的楔形晶体样品中将一个衍射波调整到布拉格条件时，明场和暗场图像中会出现随着厚度变化而周期性变化的条纹图案。这称为ty8天游官网登录干涉条纹。条纹形成的原因是由于二波近似动态衍射效应，在透射波和衍射波中产生了波长略有不同的两波，这些波发生干涉并产生拍频。两个条纹之间的厚度变化（消光距离）与衍射波的晶体结构因子的倒数成正比。ty8天游官网登录干涉条纹用于估计样品厚度。此外，由于晶体结构因子根据样品的成分而变化，因此可用于分析半导体多层膜的成分变化。

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在 AlCu 合金中激发 200 次反射时的明场图像。加速电压：200kV。
样品呈楔形，厚度从图像底部的真空侧向后（顶部）增加。观察到与厚度变化相对应的ty8天游官网登录干涉条纹。

当一个衍射波与具有恒定取向的楔形晶体样品中的布拉格条件匹配时，该样品的亮场图像和暗场图像都根据厚度的变化呈现周期性条纹。这种图案被称为（等）厚度条纹。由于两光束动态衍射效应，透射波和衍射波中形成波长略有不同的两束光束。它们相互干扰，导致节拍或粗条纹。相邻条纹之间的厚度变化（消光距离）与衍射波的晶体结构因子的倒数成正比。条纹用于估计样本厚度。多层半导体膜的成分变化可以通过消光距离的差异来测量，因为晶体结构因子的值取决于各层的成分。

在 200 kV 加速电压下拍摄的 AlCu 合金的明场图像，其中激发了 200 次反射。
AlCu 样品是楔形的，其厚度从真空侧（图像左下角）向远方向（图像中向上）增加。可以看到表现出厚度变化的ty8天游官网登录度条纹。