TFT液晶面板接触塞的截面观察|应用说明|日本日本株式会社

IB2019-03

在透明基板上制造的TFT液晶面板等器件中，可以使用光学显微镜（OM）观察样品的内部结构。
然而，SIM图像无法直接观察内部结构。
当使用 FIB 处理此类样品时，通过巧妙地结合光学显微镜和 FIB，可以以高位置精度制备样品。

舞台联动功能^※选项

转换JIB-4000PLUS和拾取系统AxisPro*的载物台坐标，以实现平滑移动到同一观察点。这使得在使用 AxisPro 拾取 FIB 制备的薄膜样品时可以轻松移动到样品位置。也可以使用 FIB 移动到使用 AxisPro 光学显微镜观察的位置。

图片叠加软件

此功能可在 FIB GUI 上叠加任何图像，例如光学显微镜图像。可以在显示叠加时设置 FIB 处理的位置，并支持处理 SIM 图像中不可见的目标。

使用 AxisPro 光学显微镜找到准备横截面样品的位置后，使用载物台联动功能使用 JIB-4000PLUS 移动到同一位置。此外，通过叠加使用图片叠加拍摄的光学显微镜图像，我们创建了样品内部接触塞的横截面，该横截面在 SIM 图像中无法看到。所制造的横截面的观察图像（SIM图像）显示该横截面是在所需的接触塞区域处制造的。