天游线路检测中心 新型原子分辨率分析电子显微镜“GRAND ARM™2”达到世界最高水平的分辨率

为了提高分辨率，新开发的原子分辨率分析电子显微镜（GRAND ARM™2）进行了改进，例如外壳隔音、轻量电子枪提高抗振性以及增强镜头电流稳定性，使其比传统设备更加稳定。
此外，新设计的极片“FHP2”具有优化的形状，可提高超高分辨率和EDS分析性能。关于分辨率，当使用ETA收集器时，STEM Ronchigram的平坦区域比传统设备更宽。由此，我们创造了原子分辨率分析电子显微镜，不仅具有高稳定性，而且具有世界上最高分辨率。

达到 405 pm 的 STEM-ADF 分辨率

图1示出了从[212]方向观察GaN晶体的结果。 (a)和(c)是通过整合1帧和20帧获得的STEM-HAADF图像，(b)和(d)是每个图像的FFT图案。
从这个方向可以观测到的Ga与Ga之间的距离是405 pm。即使使用单帧图像，我们也能够拆卸并观察 Ga-Ga 哑铃。另外，在FFT图案中，除了显示405pm的点之外，还可以观察到显示393pm的点。在20帧集成STEM-ADF图像中，Ga-Ga哑铃比1帧图像中更清晰地解析，并且在FFT图案中，还确认了位于361 pm甚至更远的点。
这表明GRAND ARM™2真正拥有世界上最高分辨率。

图1 (a) 一帧中获得的GaN[212]的STEM-HAADF图像及其FFT图案(b)。
(c) 通过积分 20 帧获得的 GaN [212] 的 STEM-HAADF 图像及其 FFT 图案 (d)。

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