天游线路检测中心 AES 化学状态分析：Ti 和 SiO2 在薄膜界面的氧化还原反应

一些半导体器件具有在Si衬底上形成的SiO2膜，以及在其顶部形成的诸如Ti或Pt的金属薄膜。根据薄膜形成条件，界面处可能会发生化学反应，从而无法形成所需的界面。
高能量分辨率俄歇分析用于研究此类界面处的化学状态。