天游线路检测中心 EPMA新产品JXA-8530FPlus介绍
日本电子新闻第49卷第6期 能登谷聪天游线路检测中心 SA 业务部门
JXA-8530FPlus 是 JEOL 的新产品，即第三代 FE-EPMA，其电子光学系统显着增强，可实现高通量分析，并可通过新开发的软件提供更多应用。此外，还采用了多用途腔室，进一步提高了可扩展性，以支持各种外围设备。実绩のある安定性をそのままに幅広い要求に応えるFE-EPMAである。
简介
JEOL自2003年在全球率先将配备场发射电子枪的EPMA（FE-EPMA）商品化以来，累计销量已达到约300台，并广泛应用于金属、材料、地质等各个领域，并获得了高度评价。新产品 JXA-8530FPlus 具有更多功能，扩展了其作为元素分析仪的适用性。下面介绍其特点。
1。镜头内肖特基 Plus FEG EPMA 版本
透镜内肖特基 Plus FEG EPMA 版本优化了角电流密度，2μ现在可以使用 A 或更大的大电流进行分析。此外，分析条件下的二次电子分辨率也得到了提高。以下是使用 JXA-8530FPlus 进行高倍率绘图分析的示例（图 1）。
Fig 1 使用 JXA-8530FPlus 进行高倍率映射分析的示例
2高级软件
基于Windows的操作环境可以使用各种软件，包括新开发的“痕量元素分析程序”，可以更轻松地进行痕量分析，自动创建相图的“Phase Map Maker”，以及可以通过简单输入测量不均匀样品的“不均匀样品分析程序”。
3。灵活的WDS配置
您可以为 Roland 圆选择 140R 和 100R X 射线光谱仪。罗兰圆半径为140R的XCE/L型X射线光谱仪具有宽光谱范围和优异的波长分辨率和P/B比。 100R H型X射线光谱仪具有X射线强度高的特点，可根据用途进行选择。
4。 Combined WDS/EDS system
自制 30 毫米2标配SD检测器（以下简称SD检测器）。高系数率を夸るSD検出器を采用することによりWDS分析と同条件でのEDS分析が可能になった（图1） 2)。简单操作でEDSsupekutoruが收集できる。例如，在涉及样品移动的广域测绘中，不仅可以使用WDS测量痕量元素的分布，还可以同时使用EDS进行光谱测绘。使用EDS，无需提前选择元素或X射线，只需选择测量即可，因此很容易防止忽视未知样品中意外元素的存在。
图。 2 SD探测器外观及WDS/EDS组合分析示例
5 Multipurpose chamber
拡张性の高い试料室、试料交换室を装备しており、様々なiaタッチメントを装着することができる（图1） 3)。可安装的附件示例
- 晶体取向分析仪 (EBSD)
- カソードルミネセンsu検出器
- 软X线分光器
- 与非大气暴露兼容的转移容器
- 快速蚀刻离子源
图。 3 可安装的附件示例
6强大的洁净真空系统
配备大功率真空系统，包括两个磁悬浮涡轮分子泵。此外，镜筒具有两级中间室，差动泵使电子枪室保持高真空。磁悬浮涡轮分子泵不需要定期维护，因此可以保持高运转率。
7软X射线发射光谱仪
这是由东北大学多维材料科学研究所（寺内正美教授）和日本电子株式会社等共同开发的最新高分辨率X射线光谱仪（图4）。使用新开发的不等槽槽衍射光栅，可以使用高灵敏度CCD同时检测Li-K和B-K光谱。它具有 03 eV 或更低的极高能量分辨率，使得分析化学键态成为可能。
Fig 4 超软X射线光谱仪SXES外观
8。 miXcroscopy™（相关显微镜）
Nikon制光学顕微镜を用いたポイントロガー机能を実现している。这使得光学显微镜指定的坐标数据可以在EPMA中注册为分析点光学顕微镜で分析位置を决める必要のある试料に最适合なシsutemuである（图1） 5)。
图。 5 显微镜™
主な仕様
JXA-8530FPlus的主要规格如表1所示。
表1 主要规格
| 分析元素范围 | WDS：(Be*)B ~ U，EDS：B ~ U |
|---|---|
| X-ray spectral range | WDS 光谱范围：0087 至 93 nm，EDS エネルギーrenジ：20 keV |
| X射线光谱仪的数量 | WDS：1 至 5 选择，EDS：1 |
| 最大试料寸法 | 100 mm × 100 mm × 50 mm (H) |
| 加速电压 | 1 至 30 kV（01 kV 步长） |
| 辐照电流稳定性 | ±03%/小时 |
| 二次电子分辨率 | 3 nm（工作距离 11 mm，30 kV） |
| 分析条件最小探头直径 | 20 nm（10 kV，10 nA，WD11 mm）50 nm（10 kV，100 nA，WD11 mm） |
| 扫描放大倍率 | × 40 ~ × 300,000（宽、深11毫米） |
| 扫描图像分辨率 | 最大 5,120 × 3,840 |
| 彩色显示屏 | 对于 EPMA 分析：LCD 1,920 × 1,200对于 SEM 操作、EDS 分析：LCD 1,920 × 1,200 |
* 当安装了用于 Be 光谱的可选光谱元件时
摘要
JXA-8530FPlus是一款配备场发射电子枪的EPMA，除了通过大量销售和操作记录支持的稳定性外，它还改进了电子光学系统的规格和可扩展性，使其能够配备许多附件。这将使前所未有的高通量分析和进一步扩大应用范围成为可能，EPMA希望能够满足客户新的元素分析需求。
