天游线路检测中心新产品JXA-8530FPlus介绍
JEOL 新闻第 49 卷第 6 期 能登谷聪天游线路检测中心 SA 业务部门
JXA-8530FPlus 是 JEOL 的新产品和第三代 FE-天游线路检测中心，其开发的设备具有显着增强的电子光学系统，可实现高通量分析，并可通过新开发的软件提供许多应用。此外，还采用了多用途腔室，进一步提高了可扩展性，以支持各种外围设备。这是一款 FE-天游线路检测中心，可满足广泛的需求，同时保持其经过验证的稳定性。
简介
JEOL自2003年在全球率先将配备场发射电子枪的天游线路检测中心（FE-天游线路检测中心）商品化以来，累计销量已达到约300台，并广泛应用于金属、材料、地质等各个领域，并获得了高度评价。新产品 JXA-8530FPlus 具有更多功能，扩展了其作为元素分析仪的适用性。下面介绍其特点。
1。镜头内肖特基 Plus FEG 天游线路检测中心 版本
透镜内肖特基 Plus FEG 天游线路检测中心 版本优化了角电流密度，2μ现在可以使用超过 A 的大电流进行分析。此外，分析条件下的二次电子分辨率也得到了提高。以下是使用 JXA-8530FPlus 进行高倍率绘图分析的示例（图 1）。
图。 1 使用 JXA-8530FPlus 的高倍率映射分析示例
2高级软件
基于Windows的操作环境可以使用多种软件，包括新开发的“痕量元素分析程序”，可以更轻松地进行痕量分析，自动创建相图的“Phase Map Maker”，以及可以通过简单输入测量不均匀样品的“不均匀样品分析程序”。
3。灵活的WDS配置
您可以为 Roland 圆选择 140R 和 100R X 射线光谱仪。罗兰圆半径为140R的XCE/L型X射线光谱仪具有宽光谱范围和优异的波长分辨率和P/B比。 100R H型X射线光谱仪具有X射线强度高的特点，可根据用途进行选择。
4。组合 WDS/EDS 系统
自制 30 毫米2标配SD检测器（以下简称SD检测器）。通过采用具有高系数率的SD检测器，现在可以在与WDS分析条件相同的条件下进行EDS分析（图2）。通过简单的操作即可收集EDS光谱。例如，在涉及样品移动的广域测绘中，不仅可以使用WDS测量痕量元素的分布，还可以同时使用EDS进行光谱测绘。使用EDS，无需提前选择元素或X射线，只需选择测量即可，因此很容易防止忽视未知样品中意外元素的存在。
图。 2 SD探测器外观及WDS/EDS组合分析示例
5。多用途室
配备高度可扩展的样品室和样品交换室，并可安装各种附件（图3）。可安装的附件示例
- 晶体取向分析仪 (EBSD)
- 阴极发光检测器
- 软X射线光谱仪
- 与非大气暴露兼容的转移容器
- 快速蚀刻离子源
图。 3 可安装的附件示例
6。强大的洁净真空系统
配备大功率真空系统，包括两个磁悬浮涡轮分子泵。此外，镜筒具有两级中间室，差动泵使电子枪室保持高真空。磁悬浮涡轮分子泵不需要定期维护，因此可以保持高运转率。
7。软X射线发射光谱仪
这是由东北大学多学科材料科学研究所（寺内正美教授）和天游线路检测中心株式会社等共同开发的最新高分辨率X射线光谱仪（图4）。使用新开发的不等槽槽衍射光栅，可以使用高灵敏度CCD同时检测Li-K和B-K光谱。它具有 03 eV 或更低的极高能量分辨率，使得分析化学键态成为可能。
图。 4 超软X射线光谱仪SXES外观
8。 miXcroscopy™（相关显微镜）
使用尼康光学显微镜实现点记录器功能。这样可以将光学显微镜指定的坐标数据一次性记录为 天游线路检测中心 中的分析点。该系统非常适合需要使用光学显微镜确定分析位置的样品（图 5）。
图。 5 显微镜™
主要规格
JXA-8530FPlus的主要规格如表1所示。
表1主要规格
| 分析元素范围 | WDS：(Be*) B ~ U，EDS：B ~ U |
|---|---|
| X射线光谱范围 | WDS 光谱范围：0087 至 93 nm，EDS 能量范围：20 keV |
| X射线光谱仪的数量 | WDS：1 至 5 选择，EDS：1 |
| 最大样本量 | 100毫米×100毫米×50毫米（高） |
| 加速电压 | 1 至 30 kV（01 kV 步长） |
| 辐照电流稳定性 | ± 03%/小时 |
| 二次电子分辨率 | 3 nm（工作波长11 mm，30 kV） |
| 分析条件最小探头直径 | 20 nm（10 kV，10 nA，WD11 mm）50 nm（10 kV，100 nA，WD11 mm） |
| 扫描放大倍率 | × 40 ~ × 300,000（宽、深11毫米） |
| 扫描图像分辨率 | 最大 5,120 × 3,840 |
| 彩色显示屏 | 对于 天游线路检测中心 分析：LCD 1,920 × 1,200对于 SEM 操作、EDS 分析：LCD 1,920 × 1,200 |
* 当安装了用于 Be 光谱的可选光谱元件时
摘要
JXA-8530FPlus是配备场发射电子枪的天游线路检测中心，除了通过大量销售和操作记录支持的稳定性之外，它还改进了电子光学系统的规格和可安装许多附件的可扩展性。这将使前所未有的高通量分析和进一步扩大应用范围成为可能，天游线路检测中心希望能够满足客户新的元素分析需求。
